[問題] 顯影後圖形變形

[jaychou515 (Hoshiya)]

最近剛接觸黃光微影，

遇到了以下問題，想請各位前輩指導一下。



第一次顯影圖形過顯，所以就把光阻洗掉重做。

但之後就發生了圖形變形的情況：

http://i.imgur.com/lnxdYUn.jpg

http://i.imgur.com/dZVncVe.jpg


檢查曝完光的光罩，多了殘留的透明物體：

http://i.imgur.com/vwGFGKw.jpg

http://i.imgur.com/nkLzA9t.jpg


重做很多次都還是發生這種情形，

不曉得有沒有前輩知道原因，謝謝。



P.S. 我是用HMDS+S1813



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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 1.163.92.114
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推 SkyLark2001: Hard contact 太超過，導致光阻沾黏光罩
推 SkyLark2001: 通常也伴隨軟烤溫度過低或時間不足，或是過曝的因素
推 SkyLark2001: 證據是這種沾黏只出現在透光的地方
推 SkyLark2001: 所以改善方式是以改進軟烤以及曝光參數為主，而不是
推 Colula: 如sky所說的，應是光酸反映太多造成氮溢出，加高烤溫與時
→ SkyLark2001: 改hard contact, 另外光罩要拿去徹底洗靜
→ Colula: 間應可改善
推 SkyLark2001: PAG....C 兄是高手喔
→ jaychou515: 感謝大家的指導，我加長軟烤時間後解決了這個問題！