推 s75287: 檢查你的光罩有沒有放反... 09/19 07:51
→ jeremy1028: 沒有放反 線路顯影正常 濕蝕刻也正常 只是顯影後側壁 09/19 12:01
→ jeremy1028: 不美觀 09/19 12:01
→ denniswave: 顯影後profile就是梯形?沒有經過Hard-Bake就這樣了? 09/19 17:46
→ sean25059199: 我有用JSR做過,減少曝光參數後就會變比較直 11/03 20:46
可以請教負光阻在顯影後 線路會行成正梯型 請問有什麼方式可改善? 無特定型號光阻
因為有找多款來測試 都有這情況 ，主要希望側面可盡量垂直, 膜厚10-30um ，有那些參
數可改善 謝謝
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