各位板上的先進好
小弟我最近在 SU-3010 的 pattern 上遇到一些困難
不知道各位大大有沒有人曾經做過 3010 的 pattern 可以做到 13~15 um 高
( 形狀是分裂共振環 間隔週期 20 um )
並且邊緣是切直俐落如 data sheet 上的圖一般
可以告訴小弟我當初的參數或是任何需要注意的點嗎
以下概述我目前的製程
-------------我是分隔線-------------
SU8-3010 cotaing 600 rmp 30 sec
1000 rmp 60 sec
軟烤 100'C 15 min
曝光 320 W 7 sec
曝後烤 100'C 20 min
顯影 ( sping ) 600 rmp 30 sec SU8-develop
定影 IPA
--------------分隔線是我--------------
這樣的製程方式良率不高，且邊緣也不不是切直的
之前是將就著用，最近發現後製程需要切直才好處理
所以上來詢問一下各位大大是否有任何建議或經驗可以提供
首PO請見諒 感謝各位~~
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.128.128.253
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1463549327.A.0F7.html