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※ 引述《supermanstar (阿呆桶麵)》之銘言: : 各位大大想請問APM的清洗流程,主要是用來清洗玻璃來鍍膜。 同學你好 基本上APM是用來去除表面的微粒 另外如果是用在清潔矽基板,還有去除表面氧化膜的效果(你是glass沒差) 基本上如果你的玻璃很髒有很多微粒 可以用APM清潔(NH4OH:H2O2:H2O 1:1:5 清潔時間80度/10分鐘) 建議先倒入H2O再倒NH4OH最後倒入H2O2 清洗完後,DI water清洗 最後氮氣槍吹乾,烘箱烘乾 ____________________________ 另外提供你我們清潔玻璃的作法 基本上我們買來的玻璃沒有很髒的話 會先用硫酸+雙氧水(H2SO4:H2O2 3:1 無須加熱,混合時就有接近百度的溫度清潔5分鐘 ) 去除一些有機物跟一些雜質 然後用水沖洗完後,如果發現有淡白色的殘留物 可以再用丙酮清潔,在用IPA去除丙酮 最後在用DI water清潔乾淨吹乾烤乾即可 以上做法是我們自己的作法,如果您覺得有用供您參考 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.112.38.47 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1463712806.A.E24.html