作者cyc647 (小G)
看板NEMS
標題[問題] 光阻退火
時間Thu Jun 16 12:30:30 2016
各位大大好
目前實驗上遇到一個問題
我用正光阻s1818要當作定位的目標
想請問已經顯影完的s1818
隨著基板一起送去退火(490度C,半小時)
光阻還會留著嗎?
很怕這種高溫光阻會直接蒸發
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推 s75287: ㄧ般製程結束洗掉光阻後，用來去除殘餘光阻的一招， 06/16 17:41
推 s75287: 就是高溫燒掉它。 06/16 17:41
推 tony1688: PR ash 。 06/18 06:51
推 sunchloveann: 光阻回灰化喔 120度就硬化 印象到350度以上就GG了 06/19 00:09
推 NANACON: 退火後會變焦，有可能用remover都去不掉... 06/23 10:11
推 Amitopho: 烤過很難去 09/09 06:26