[問題] PDMS 雙面接合玻片

[YamadaRyo (亞嘛搭六)]

我想請問構造是要兩面BONDING載玻片

中間那層是PDMS薄膜


請問薄膜的構造是用什麼方法成型呢？

翻模的話　上方那面邊緣應該會成弧狀而厚度不均吧？　這樣應該接合不成...

而且脫模後應該無法精準定位？


請問有人有這方面的經驗嗎QQ  拜託給我一些建議，謝謝！

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推 s75287: 就給你一點建議 DOI: 10.1039/C4LC01211A
推 jam46: PDMS 旋塗在晶圓上，烤固化後 bond 玻璃，割下薄膜&上面的
→ jam46: 玻璃後，再 bond 另一片玻璃？
推 s75287: 樓上的方法問題在於1. 旋塗的PDMS 上面不會是通的 會有殘
推 s75287: 留PDMS 2. 旋塗後bond上玻璃 很難脫模下來 不管是厚、薄
推 s75287: 玻璃。薄的還有機會 但是容易破掉。
推 nasa01: 電漿呢？
推 weisuan: 以前做單面是電漿拿到顯微鏡底下對