[問題] SiNx 是用ＣＶＤ還是熱蒸鍍？

[cannibalking (一路向上)]

如題

小弟一直以為SiNx 是用CVD做的

直到上次聽到SiNx也可以用熱蒸鍍做

令我嚇了一跳

請問是我誤會了什麼嗎？

謝謝

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.7.224.141
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1469876641.A.F8D.html
※ 編輯: cannibalking (118.7.224.141), 07/30/2016 19:37:43
推 SkyLark2001: silicon nitride的鍍膜方式可以有CVD, PVD,spin on等
推 SkyLark2001: CVD就包含LPCVD, PECVD及種種變形如ICP/ECR/ALD等
→ SkyLark2001: PVD則包含sputter跟evaporatoin都有。另外也可用IBD
→ SkyLark2001: ion beam deposition. 所以不是你誤會了什麼，而是
→ SkyLark2001: 學海無涯
→ leox243: 但是樓上你說的都不是熱蒸鍍吧.....
推 bigbird0612: 回樓上234。  Evaporation不是熱蒸鍍嗎？