[問題] GL2000顯影液替代方案

[jack85895 (JackHsu)]

GL2000是我們實驗室主要用來ebeam黃光所使用的光阻
其顯影液為國外實驗室所製造（電子級）
之前洽電代理商 卻得知此顯影液不再生產
想請問有人使用其他的顯影液可以穩定顯影出200nm以下的pattern嗎？

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