[問題] GM1070軟烤時收縮

[ThePanzer (ThePanzer)]

各位大家好

小弟在使用GM1070這支光阻時遇到一個問題

塗佈玩之後的軟烤時，常常發生光阻收縮

感覺就像是疏水性表面會有的狀況

如圖的狀況 http://imgur.com/aZE44GG

請問小弟是哪一步做錯了

導致產生以上的狀況呢

謝謝大家

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推 Jinuse: PR coating前有做表面處理嗎 例如HMDS?
→ ThePanzer: datasheet上寫不能做HMDS 我只有做去水烘烤
推 Jinuse: 喔喔 那也沒做O2 plasma?
推 sunchloveann: 問你個問題?
推 sunchloveann: 你試片怎麼前置清洗的
推 sunchloveann: 一般如果晶圓買來沒有做 BOE的清洗 有些光阻
推 sunchloveann: 會很難上去
推 sunchloveann: 因為上面的二氧化矽層降低了附著性
推 OhMyAlex: 二氧化矽超親水 理論上不會降低附著性 但超親水會吸附大
→ OhMyAlex: 氣的有機物 這一層就產生了疏水性 用Piranha把這層吃掉
→ OhMyAlex: 露出乾淨的二氧化矽應該可以解決問題