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是這樣的 小弟最近在以Si mold翻模PDMS,我有在Si上coating一層silane然後才上PDMS,但是在烤 乾後無法將PDMS去除,連用指甲摳幾乎都不為所動,請問有什麼辦法嗎? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.114.126.104 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1488532619.A.A36.html
Thejust: 有用一些solvent試試看嗎?例如toluene 03/04 17:02
jam46: PDMS wet etching? 雖然我覺得重做一片mold可能更安全 XD 03/05 00:39
jam46: 另外,重點應放在為什麼會沾黏?理論上有上silane應該都很 03/05 00:40
jam46: 好脫模,是否製程上出了什麼問題? 03/05 00:41
GE1000: PDMS上厚一點試試看? 03/05 18:23
Lanpe: 找關東鑫林 有一支型號ksr的可以洗...但你加silane做什麼 03/05 19:01
Lanpe: 用呢? 03/05 19:01
CharlieToT: 已寄站內信 03/07 09:26