推 jeffdon2: 請用反轉烤，這樣自然會是倒梯形 03/10 23:40
→ jeffdon2: 不然就改用AZ2020這支lift off專用的負光阻 03/10 23:41
不好意思
想請問有人知道AZ5214在做黃光時
他倒梯形的程度是跟那些參數有關呢?
因為小弟在做lift off製程時希望他有比較明顯的倒梯形結構
謝謝各位
--
Sent from my Windows
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.115.115.154
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1489124262.A.3A4.html