作者skro1234 (呵呵笑)
看板NEMS
標題[問題] 銅lift 不掉
時間Thu May 18 19:10:11 2017
最近使用sputter鍍Cu都lift不乾淨（wafer上有像雀斑一樣的銅）
光阻是使用FH-6400 前轉15s 1500轉 後轉35s 3500轉
每次sputter完 會泡丙酮2-6小時
就算泡在久還是lift不掉
想請問板上先進 給如何改善製程
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推 sunchloveann: 棉花棒慢慢刷 05/19 11:47
推 nhsh: 改用垂直蒸鍍銅 或用震盪lift off 、再不行改用光阻去除劑去 05/20 22:12
→ nhsh: 光阻 你的狀況應該是銅部分連在一起了 05/20 22:13
→ skro1234: 我有震盪但怕太久 其他地方的銅會一起掀起來 05/21 00:42
推 nhsh: 如果沒有要小尺寸的話 建議光阻厚一點 05/21 19:27
推 a12121415: 可以震久點，通常蒸鍍好是不容易被震掉 05/29 06:49
