[問題] SEM 拍攝 光阻疑惑

[YuShaoChen (我轉三圈)]

各位先進好：
小弟我對SEM有一點疑惑

書上以及老師都說  SEM並不能看高分子材料
即使鍍了一層金屬，還是會有溶劑揮發
還有就是高能的電子打在樣品上的時候 溫度也會造成高分子材料的變質&揮發。以上都會是汙染腔體的原因

可是許多的光阻data sheet上都有SEM的圖  也看過許多文獻的樣本是高分子也有拍攝…

想請問是有做什麼特殊處理嗎？

因為我們的樣本被告知進去槍膛後真空就很難抽下去，但是在自己這裡的sputter都可以很順利的抽…



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→ YuShaoChen: 槍膛 更正 腔體
推 sunchloveann: 烤乾
推 sunchloveann: 通常高過光阻的tc溫度
→ YuShaoChen: 可是負責機台的老師是說 即使烤乾也不能保證…   因為
→ YuShaoChen: 之前我們實驗室學長已經黑了…
→ maddeath: 的確在拍SEM時若是知道樣品上有光阻,我都會拒絕拍攝,但
→ maddeath: 是也遇過很多人隱瞞樣品含有光阻來拍攝,目前遇過最誇張
→ maddeath: 的一次是GUN才一開,電子束才剛打到試片,真空值瞬間狂掉
→ maddeath: 電子腔馬上跳掉,來拍攝的學生才吐實試片中含有高分子材
→ maddeath: 不過我也在不知情下拍過如原PO說的光阻試片,本來以為只
→ maddeath: 是拍攝蝕刻後的圖形和奈米流道,拍了4次才發現樣品中有光
→ maddeath: 組的存在,詢問下對方是說那光阻有烤乾,只是我之後不敢再
→ maddeath: 幫忙拍攝了
推 soaping: 黃光後也有inlineSEM阿  電子束能量高低問題
推 lisasweet: 之前ChemEng有討論過,另外有可以進高分子的SEM~~~
→ lisasweet: (不知道後來有沒有修改掉就是XD)
→ lisasweet: ChemEng看板XD
→ balaboo123: 業界CD-SEM就在量光阻呀 只是你怎麼抓條件還有那台SEM
→ balaboo123: 有沒有要給其他製程用這樣
推 forceout: FA House: 費用含燈絲成本， 腔體定期清潔
→ deepdish: https://i.imgur.com/CVsBCQY.png