看板 NEMS 關於我們 聯絡資訊
各位大家好 目前在讀有關半導體製程黃光的部分 想要問一下關於 HMDS 塗佈的問題 1. 如何確定晶圓上面確實有HMDS 2. 要怎麼確定HMDS的量 希望有大大可以為我這新手解答 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 117.19.129.64 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1514533233.A.BDB.html
asumawei: 你可以泡水看看 親疏水 12/30 13:09
andyallice: 整個晶圓泡水? 12/30 17:58
andyallice: 要怎麼看啊 12/30 17:59
needchange2: 量接觸角即可判斷親疏水性... 01/01 23:54
sunchloveann: 其實最好的辦法是烤乾後 拿去量水的接觸角 01/02 12:19
sunchloveann: 但如果只是單純要知道哪些面積沒有圖到 那就是 01/02 12:20
sunchloveann: 滴落的位置+滴落量+旋轉轉速及時間的調整 01/02 12:21
yuchungyi: 用量contact angle的機台量個center edge就知 01/05 23:40
deepdish: https://i.imgur.com/iLw2fXb.png 03/11 15:58