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請問 使用RF sputter 濺鍍二氧化鈦薄膜 結果薄膜沒有電阻反應 靶材是99.99%Tio2 濺鍍時只有用氬氣 試問為什麼呢? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.233.45.166 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1516891973.A.44E.html
jason770301: 太絕緣,超過電阻計檔位上限? 01/27 14:34
z7220876: 可以試試看退火 01/27 18:54
b10238056: 那如果是用鈦金屬靶+氧氣 濺鍍呢?這樣比較容易有電阻 01/27 19:36
b10238056: 嗎? 01/27 19:36
b10238056: 因為純二氧化鈦 是陶瓷靶 根本就是絕緣 我用四點探針一 01/27 19:37
b10238056: 樣沒有電阻 01/27 19:37
z7220876: 濺鍍TiO2鈀材時再多通氧進去,調變通氧量試試看 01/28 00:42
jason770301: 換個地方測電阻吧,應該在Gohm等級,若你的儀器上限 01/28 01:35
jason770301: 只能測到100Mohm,當然量不到電阻 01/28 01:35
b10238056: 目前已經是純二氧化鈦 在通氧氣 電阻會變比較小嗎? 01/28 16:57
deepdish: https://i.imgur.com/Dnd8xbF.png 03/11 15:07