[問題] 有沒有不會被酒精吃掉的光阻

作者abcxyz6219 (Seako)

看板NEMS

標題[問題] 有沒有不會被酒精吃掉的光阻

時間Fri Jan 26 11:00:21 2018

小弟的實驗中要使用到自主性單分子層的製程因此需要把曝光之後泡浸在酒精的溶劑中但是光阻一直被酒精吃掉目前已經使用過AZ4620 跟 S1813這裡兩隻光阻想請問各位有沒有做過類似的實驗是否有比較合適的光阻可以推薦? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.115.41.152 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1516935623.A.1D2.html

推 sunchloveann: 光阻最終有要移除嗎沒有的化烤250度連硫酸都洗不 02/01 13:02

推 sunchloveann: 掉 02/01 13:02

→ kn930121: PMGI或LOR可以試試看? 02/01 22:45

→ jam46: 不用移除的話，su8負光阻也滿強壯的，曝光顯影完，用丙酮沖 02/02 00:43

→ jam46: 都沒事 02/02 00:43

→ abcxyz6219: 最後沒有留下來但是250太高改成150 02/03 16:36

→ abcxyz6219: 測試是不會被吃掉的謝謝大大 02/03 16:36

→ deepdish: https://i.imgur.com/YIPeGsF.png 03/11 15:05