[問題] 光罩對準機的顯微鏡無法辨識圖形

[oway15 (clinical lycanthropy)]

各位前輩大家好

今天遇到的事情是

曝光機的顯微鏡無法分辨出反應區與基板

目前經過的製程是

CVD沉積二氧化矽→BOE蝕刻反應區→離子佈值→退火

目前進度需要在反應區上再利用BOE

吃掉因退火產生的二氧化矽洗出接觸窗

照理來說基板是有5000A的二氧化矽

而反應區上方僅是因熱成長生成薄薄的氧化層

厚度差異會產生色差

且那色差用肉眼也能判別

但是今天去中山大學奈米核心

光罩校準曝光機的顯微鏡一掃下去

居然分辨不出兩者差異

照下去一片雪白宛如未加工的矽晶圓

導致後續無法校準

請問這是哪裡出了問題呢？

有辦法改善嗎…？

謝謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 110.50.184.36
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1518004640.A.950.html
※ 編輯: oway15 (110.50.184.36), 02/07/2018 19:57:59
→ NCCUOnline: 做每一部都得要檢查...
→ NCCUOnline: 例如像你說的"照理來說基板是有5000A的二氧化矽"
→ NCCUOnline: 真的有嗎? (所以每一步驟做完都要校驗)
您好

https://i.imgur.com/52dhbwU.jpg

將試片直接放顯微鏡看只能看到淡淡的圖形

https://i.imgur.com/k9Oc1mI.jpg

塗佈光阻後就GG了

一片漆黑

https://i.imgur.com/JJimclq.jpg

https://i.imgur.com/m3HijUQ.jpg

啥都看不到…

我用的是厚光阻AZ4620

中山用的是AZ1500

他們光阻厚度只有1.5um

校準機一打下去一樣什麼都看不到

照理來說不可能無法辨識二氧化矽跟矽吧…
※ 編輯: oway15 (140.127.27.212), 02/09/2018 20:13:40
→ tyrzzz: 用一般顯微鏡看看，有時光強度太強會看不到些微的色差或
→ tyrzzz: 高低差
推 energene: 有側光可以用嗎
→ deepdish: https://i.imgur.com/b0MdHDU.png