推 b10238056: 您好 我是學術單位的研究生 該如何跟您聯繫呢？想跟您 03/09 23:17
→ b10238056: 學習與請教 03/09 23:17
推 sunchloveann: 有退火嗎 03/11 09:14
推 b10238056: 您好 我有拿去大氣退火 450度 退火完後在電極量測常溫 03/11 15:42
→ b10238056: 下沒有電阻 有加熱後才有電阻 03/11 15:42
推 b10238056: 隨後還有嘗試真空退火 450度 而在常溫下量測電極是有電 03/11 15:44
→ b10238056: 阻的 基板加熱通氮氣時 電阻反而上升 結果很奇怪 照理 03/11 15:44
→ b10238056: 說應該要降低 請問會有什麼問題呢？ 03/11 15:44
推 sunchloveann: 聽起來是你沉積的時候沒加熱 導致晶格相跑掉 03/12 01:54
推 sunchloveann: 通氮氣會提高 理論上不太可能 除非你的氮氣不是 03/12 01:57
推 sunchloveann: 高純氮 有參到一點其他氣體 或漏氣 03/12 01:57
推 b10238056: 您好 我在濺鍍時 基板溫度固定在350度 我用的氮氣是普 03/12 13:47
→ b10238056: 通的氮 後續我改為高純氮試看看 03/12 13:47
推 b10238056: 請教一下 二氧化鈦的工作溫度大概多少呢？ 03/12 13:49
推 b10238056: 我每次通氮氣的時候 電阻一直往上提升 我懷疑是氮氣吹 03/12 13:54
→ b10238056: 出來的風影響的 灌氧氣進去確實也是提升 但是這樣整個 03/12 13:54
→ b10238056: 實驗沒有準確性可言 03/12 13:54
推 b10238056: 後續我有試看看酒精放置腔體內揮發 電阻是有降低的 03/12 14:33
