[問題] PDMS-PDMS 氧電漿黏合參數請益

[asdfg9631 (阿瑋)]

小弟研究是微流道晶片
需要用氧電漿將兩片PDMS進行黏合
打的時候維持壓力值400mtorr  30W  3min
有時成功有時失敗
請叫各位大大幫忙解惑。

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推 lockq: 三分鐘有點太長了
推 a3762341: 220mtorr,20W,打個五秒，緊到不行。
→ a3762341: 檢查一下氧氣含量，打的時間跟是不是利用純氧有很大的
→ a3762341: 關係(以前曾經用空氣打過，因為裡面的氧氣含量為純氧的
→ a3762341: 20%，所以打的時間拉到30秒都還可以黏得不錯。)
推 BJ1014: 打空氣電漿其實就ok了 打完加重物放加熱板100C 10min會黏
→ BJ1014: 更好
→ deepdish: https://i.imgur.com/Kenocai.png