[問題] 關於硼擴散製程

[wateres (五樓愛自宮(#‵︿′ㄨ))]

各位前輩大家好

小弟最近在做硼擴散製程

可是做出來的結果復合一直無法改善

有查過文章說高濃度的硼離子會有很高的復合

所以也試過在擴散完後用蝕刻法蝕刻表面高濃度層

想請問各位前輩有沒有什麼小弟沒弄清楚的地方

還請大家指教

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推 JunDT2008: 你先複習氣體擴散速率、溶液、蒸氣壓、PV=nRT等訓練出
→ JunDT2008: 思考模式，再思考複合機制
→ JunDT2008:             ^搭配
→ JunDT2008: 才有機會靠自己想出原因
→ JunDT2008: 要解決製程中原理問題，只能靠自己
→ deepdish: https://i.imgur.com/lBd8hzt.png