作者joehsu831212 (op Joe)
看板NEMS
標題[問題] 氮化鎵奈米柱濕蝕刻問題
時間Thu Mar 21 19:03:26 2019
各位好~
小弟在做氮化鎵(GaN)的奈米柱。
首先用金屬當mask形成直徑大約200nm的圓盤陣列,再去打ICP-RIE形成類柱狀結構。
接下來再去做濕蝕刻(AZ400K),小弟已經把奈米柱的側壁利用濕蝕刻形成垂直面,算是初步的成功,接下來遇到問題,以氮化鎵晶面的特性,濕蝕刻完應該能形成六角柱的形狀,但是小弟改了好幾個參數還是無法形成六角柱,只能形成圓柱。
請問有前輩做過類似的實驗,可以給小弟一點建議讓小弟的奈米柱晶面出來嗎?
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推 JunDT2008: 直徑太大? 04/12 09:22
兩百奈米感覺直徑蠻小了耶 網路上paper很多都micro等級
推 xa380x: 我好像認識你 CCY? 04/23 01:46
※ 編輯: joehsu831212 (223.137.39.76), 05/04/2019 19:22:56
推 thulongwu: 換個蝕刻液試試 05/28 12:08