推 jam46: 1. 塌陷問題看能否在流道中加柱子支撐？ 2. 用膠帶不會有殘 05/07 03:09
→ jam46: 膠問題，我們用一般封箱透明膠帶都ok 05/07 03:09
→ bbs60076: 好的 感謝～ 05/18 04:07
大家好~
目前的實驗會使用兩片PDMS進行微流道的製程(一般普遍都是使用PDMS搭配PMMA或玻璃)，
在製程中會分別從透過蝕刻製程的方式Si晶圓和Si晶圓上有SU8結構的晶圓翻模，但純Si
晶圓的模具會經過兩次PDMS翻模，為了得到與原本晶圓一模一樣的結構
這兩片PDMS製作出來後，會接在一起，並注入親水性的高分子，再用UV光使其固化，然而
在這過程中有幾個問題，原先打算在注入前會先在PDMS上打施打氧電漿，並透過毛細現象
使液體自動沿著流道填滿，圖中有提到幾個在這步驟遇到的問題
https://i.imgur.com/tLjSq8u.jpg
想請問大家以下問題
1.目的希望PDMS兩片不要黏在一起，所以想法是將一片改成比較親水，則一片為親水一片
為疏水較原本不易黏在一起，目前看到常見使PDMS變為親水的方法都是對其施打氧電漿，
但目前小弟想要在不想施打氧電漿的情況下(因為施打後可能會產生SiOx進而有裂痕)使PD
MS親水，不曉得版上的大大有沒有建議的方法?(自己曾經有嘗試在PDMS上噴灑IPA，想透
過物理吸附的方式讓使PDMS表面上露出IPA的OH基，但讓他自然乾掉後又變回疏水QQ)
2.因為兩片PDMS要黏合且作為模具，因此表面清潔度很重要，目前網路上看到的清潔作法
是用IPA搭配超音波，但實際試過效果似乎沒有很好，後來用Scotch膠帶黏的方式可以把
表面很多髒污去除，但不曉得會不會有殘膠的問題，而且因我的PDMS結構上有凹陷地方因
此在那些地方膠帶無法清潔到，想詢問版上的大神還有沒有其他建議的方法?
另外，如果版上有玩過PDMS或微流道以及對如何進行表面處理有專精的人，願意讓我請益
的話，小弟願意請一杯星巴克作為酬謝。
謝謝大家～
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