推 sunchloveann: iline hline 都吃 只是解析度有差 看妳的線寬需求 06/26 12:53
請問各位黃光微影製程的先進，G-PR為什麼能用i-line進行曝光，小妹以前都是直接買i-
line光阻進行i-line曝光，不知道這樣會有什麼風險？
業務只告知可共用，詳細情形我也不太清楚，想請問各位大大有碰過類似情形？
目前傾向購買AZP4620/P4400/P3300，再跟台廠拿樣品試做，請各位不吝賜教，感恩
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