作者jerrychu1211 (感受到 鄉民的正義了~~)
看板NEMS
標題[問題] 請推薦可曝出 0.3um 線寬的光阻
時間Sat May 23 02:46:25 2020
各位先進好,
黃光博大精深, 小弟只略懂皮毛
請問6" ASML, Canon, Nikon的i-line機台
若欲曝出0.3um的線寬(both strip & square type)
除了需搭配轉速, 轉出適當的厚度
可能亦須做FEM(Focus Exposure Matrix)的實驗, 找出較適當的曝光條件
而在光阻選用上, 各機台有分別建議的光阻型號嗎
謝謝
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推 andyallice: 6 寸 0.3 um 有點太極限 05/24 19:42
→ jerrychu1211: 確實, 6"通常CD極限在0.5~0.6um,overlay在0.1~0.2um 05/25 01:12
→ jerrychu1211: 不過也是要搭配黃光光源, 跟光阻特性, 所以想請教 05/25 01:13
推 darkness0918: ULTRA-123 06/18 21:32
→ jerrychu1211: 感謝推薦,我會再study這隻光阻,請問有供應商資訊嗎? 06/21 02:36
推 e456541: 您好，我們代理Kemlab的光阻，可供應0.3um線寬的產品，歡 11/02 14:48
→ e456541: 迎私訊討論！ 11/02 14:48