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各位先進好 小弟最近使用鐵靶材進行 RF濺鍍時 電壓變得異常低 然後會亂跳 以往大概150w就800~900V左右 最近幾次用 它先上升到200多V後就下降到50~60V 之後 RF的儀器就怪怪的不給運行了 改用DC power則是電壓異常高 好像沒有接觸到一樣 靶材送回原廠後 他們看了覺得沒有debounding的情況 因此建議我把靶材磨薄一點 (猜測可能磁場不夠) 原本是3mmCu+2mmFe 現在把鐵磨成1.5mm 另外請我都改用DC power 並把argon流量拉高 請問大家還有什麼可以做的嗎 或者有遇過類似問題嗎 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 49.216.20.187 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1641976665.A.E36.html
sunchloveann: 你放靶材的gun有賣沒有污染 01/12 17:04
sunchloveann: 如果有污染 就會這樣 建議要清 01/12 17:04
sunchloveann: 另外一個問題是你的 電漿產生器自動 01/12 17:06
sunchloveann: match是否有正確。如果沒有 要手動調 01/12 17:07
sunchloveann: 在不行就送修 01/12 17:08
dreamphoenix: 清理的話大概怎麼做呀 01/12 18:37
dreamphoenix: 我使用的是北微底下的卓越大樓實驗室 01/12 18:37
dreamphoenix: 他們都是用吸塵器吸內部而已 01/12 18:37
sunchloveann: 請找吳先生。請他處理或請他叫廠商處理 01/13 11:57
sunchloveann: 通常是放靶材的gun有問題 01/13 11:59
dreamphoenix: 好 感謝 我再請吳先生聯絡廠商 01/13 16:30
deepdish: https://i.imgur.com/kDNHBD1.png 03/10 14:40