推 sunchloveann: 會傷到 就用氧電漿試試 04/28 19:55
推 ian41360: 化合物EPI用氧電漿去光阻，不想讓原PO畢業了？ 11/29 20:04
想請教版上專業的大大們, 有沒有使用杜邦EKC922的經驗??
最近遇到了EKC922去光阻製程(EKC→Acetone→IPA)同時會damage三五族(Ga/As/Al/In)的ep
i材料
但做了很多測試都還找不到真正的原因
測試EKC的流量和溫度對於epi damage會有貢獻
但在製程的使用範圍內對epi damage產生的阻值變異影響不大
可是就是會隨機發生對epi damage的嚴重影響
已經確定這個問題與wafer epi的相關性不高
因此才在想說會不會是EKC→Acetone→IPA的製程中發生了什麼反應造成的問題??
因此想請教專業的前輩們
對於這樣的去光阻製程是否知道會發生什麼對epi damage的機制可以參考??(例如化學反應o
r電化學反應等)
先跪謝大家了
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