[問題] 厚膜光阻（兩層）曝後烤會產生氣泡

[Matsunaka3 (松井)]

各位大神好

小弟目前想用厚膜光阻作為Si深蝕刻的遮罩

目前使用的光阻有試過SPR220以及AZ4620

兩種光阻都試過只coat一層的話，深蝕刻沒辦法到達想要的深度

所以光阻目標厚度要15um以上

但如果coat上兩層的話，曝後烤都會出現氣泡

就算曝光前放在塑膠真空皿抽了兩天，曝光後硬烤還是會出現氣泡

我爬文發現以前有幾位大神有試過兩層厚膜的

想請問大家先前有如果遇到兩層光阻的case會怎麼處理？

先感謝各位相助了Orz




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推 huangsw: 有沒有試過SU8?
推 hafat: AZ12XT可以輕易達到厚膜需求
推 sunchloveann: 呵呵  我通常會問你有沒有降轉速去轉AZ4620
推 sunchloveann: 1000轉 大概有16um
推 sunchloveann: 750rpm也有
推 a12121415: 硬烤溫度60度，過個半天在用90度烤一天，就可以當硬擋
→ a12121415: 層