[問題] 電子束轟擊造成積碳原因

[homelan (小教練)]

大家好
一般我們使用SEM通常在一定的真空下
但經過電子束長時間的轟擊會發現表面累積一些物質
查了一下網路大多說是積碳
但這些碳從何而來 ？
在多少真空環境下容易生成 ？

因為google不到相關文獻
希望有相關領域高手幫忙解答一下
感謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.237.33.145
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Physics/M.1435508234.A.10D.html
推 ansen0988: 那是樣品燒焦吧
推 FunkyMajik: 目前所有類型的真空幫浦對氫氣、部分碳氫化合物、一
→ FunkyMajik: 氧化碳、二氧化碳等的抽氣效果並不理想，超高真空用RG
→ FunkyMajik: A檢測殘餘氣體這幾種荷質比會特別明顯。而電子束可以
→ FunkyMajik: 把分子鍵結打斷，因此會造成碳的沈積。
→ homelan: 那使用ion pump是有效的手段嗎 ？
※ 編輯: homelan (36.237.35.146), 06/29/2015 07:10:33
→ homelan: 我的經驗是使用ion pump後積碳速速似乎變慢
推 FunkyMajik: 當然會有效阿..一般只用turbo即使加上bake chmaber的
→ FunkyMajik: 過程..能到1*10-9torr的壓力就很了不起了..後續就是要
→ FunkyMajik: 靠ion pump才能進-10的真空..一般SEM sample chamber
→ FunkyMajik: 頂多到-7的真空而已，含碳化合物還是一大堆
→ FunkyMajik: 不過SEM裡ion pump是接在column的部分，效果也是有限
→ homelan: 大致上了解 我會用RGA去測試一下
推 FunkyMajik: 處理樣品時若有有機溶劑要記得等完全揮發再放進去