→ yeahbo: 應該是從Ar被游離跑出來的吧？ 12/30 12:27
我們知道在sputter內是由離子撞擊靶材所造成的scattering做deposition，
想問一下，假如已經達到DC Grow Discharge的電壓、壓力，第一顆反應的電子是怎麼出
現的呢？
是從target(cathode)克服work function 所出來的嗎？還是其他方法呢
有文獻資料、或是教科書，也可以提供一下喔
謝謝各位大大
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