※ 引述《dominatrix (Irene Adler)》之銘言：
: 最近在學關於橢圓儀的原理
: 不過有個地方實在搞不太懂
: rp/rs= tanΨ*e^(iΔ)
: 橢圓儀是藉由所量到的測量值Ψ跟Δ 也就是振幅比與相位差
: 來計算其他資訊(例如膜厚or n值)
: 但一直想不太透的是Ψ跟Δ是怎麼"直接"測量出來的?
: 接收端是有什麼特殊的detector還是裝置嗎
: 到底是直接量到這兩個值
: 還是先分別量rp及rs再計算Ψ跟Δ 有點搞不太懂
: 但感覺不應該是量到rp跟rs 這樣好像就變反射儀(記得橢圓儀只能知道rp/rs的比例)
: 網路上在這部分也沒有詳細資訊
: 若有了解的前輩麻煩指點
: 謝謝
先說明一下rp和rs是指電場E的反射率 不是光強intensity
所以不是測量rp以及rs再計算Ψ跟Δ
基本上目前橢偏儀還是以測量光強的方式來計算Ψ跟Δ
但通常必須搭配其他光學元件在適當的位置 (ex偏振片/四分之一波板)
雖然都叫橢偏儀 但其結構也不少 (ex RAE/RCE/DRC等...)
結構的差異可能會導致資訊的loss 或者在某些狀況量測的sensitivity有差異
當然有些結構在理論上是等效的 這就要考量實際狀況
例如光源是否真的為完全depolarization或者detector的量測是否會受偏振態影響
這部分小弟才疏學淺 就不獻醜了
不管哪種結構的橢偏移 其實都是在量測"偏振態"經過待測物的"相對變化"
透過量測這個變化可以反推待測物的一些資訊(ex 幾何大小,濃度等...)
至於反推的結果是否正確 這就關係到量測資訊的多寡了
若量測所獲得的資訊太少 可能反推得到的結果會是多重解
必須靠人就已知資訊來刪掉不可能出現的情況
當然唯一解的狀況是最好的 但在許多應用上通常很難達到
橢偏儀雖然是光學量測 但不是靠成像的方式
所以不會有繞射極限的問題 量測到比波長小數倍的結構也是有可能的
其量測極限 會受到noise以及資訊量的影響
目前就我觀察到廠商的作法也是朝著降低nosie以及增加資訊量來進行
降低多重解的可能性
遺憾的是 即使是full Mueller Matrix的ellipsometry量測
多重解仍然無法避免
我自己是還蠻看好x ray相關量儀的發展
前提是能夠克服光強過弱的問題 不然大概都只能停留在實驗室階段
總不能為了量測 都要蓋一座同步輻射中心在旁邊吧XD
抱歉 好像廢話有點多
如果原po要相關書籍的話
或許可以參考這本
Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications
author: Hiroyuki Fujiwara
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