推 fragmentwing: 好問題欸 以前用氣相沉積 現在都上離子佈植 04/04 20:24
→ fragmentwing: 我覺得應該是質量增加非常一點點吧 04/04 20:25
推 YJM1106: 就被擠到旁邊吧 04/05 16:31
→ hank780420: 還在裡面吧 傳統作法是氣相擴散現在是高能離子直接打 04/05 16:42
→ hank780420: 另外doping的濃度是非常非常低的 你仔細去對數量級算 04/05 16:43
→ hank780420: 算看就知道 這也是半導體分析的難點之一 04/05 16:43
推 Leadgen: 參雜才萬分之一，一萬個擠一個進去，連動都不會動。 04/05 19:03
推 fragmentwing: 萬分之一算高濃度摻雜了吧? 04/06 15:34
推 Vulpix: 都知道濃度的話，秤一下啊。 04/06 16:03
推 Leadgen: 萬分之一都看不出影響，低濃度的影響更小。 04/06 21:18
→ fragmentwing: 環境應該都是在真空下進行 真要測量與其秤重 不如在 04/07 11:19
→ fragmentwing: 真空的排氣環節設個類似蓋格計數器的東西去算幾個矽 04/07 11:19
→ fragmentwing: 原子通過 04/07 11:20
推 fragmentwing: 也許可以對排出氣體用質譜儀去分析? 04/07 11:24
推 Leadgen: 蓋格計數器能算的是帶電的Alpha,Beta,Gamma~打中時的計數 04/07 17:37
→ hank780420: 只能用RGA看看有沒有Si被打出來吧 04/07 17:46
推 fragmentwing: gamma可以? 04/07 17:55
推 Leadgen: 蓋格計數器，也是可以量到Gamma的。 04/07 19:05
→ fragmentwing: 原理不是撞到粒子就計一次嗎? gamma射線不是粒子啊 04/08 12:14
推 leptoneta: gamma射線是光子啊 04/08 12:42
推 jjvh: 那就像你用小石頭丟蛋糕，有些還在有些噴飛 04/09 10:38
推 Leadgen: gamma光子會和蓋格管中的氣體發生反應。光電、康普頓 04/10 20:43
→ Leadgen: 作用後的電子會導致蓋格發生反應。 04/10 20:43
→ Leadgen: 所以你看網址中的儀器，是不是同時可以偵測光子和beta 04/10 20:44