[新聞] ASML 新一代多光束檢測設備交付客戶，效

[MPSSC ()]

1.原文連結：
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2.原文內容：


半導體先進製程的檢測又有新進步！荷商半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）29 日宣布，
已經完成針對 5 奈米以上先進製程節點研發的第一代 HMI 多光束檢測（MBI）系統的整
合測試。型號 HMI eScan1000 成功展示了多光束檢測操作，透過 9 條電子束檢測掃描，
可檢測較多數量的晶圓。這與目前單個電子束檢查工具相比，eScan1000 因有 9 條電子
束，將使作業速度提高多達 600%。

ASML 表示，新 MBI 系統包含一個電子光學系統，發射及控制多個檢測電子束，然後收集
和處理反射後的電子束，並將電子束對電子束的干擾限制在 2% 以下，提供一致的成像品
質。它還有高速平台以提高系統的整體執行速度，並有高速運算架構即時處理多個電子束
檢測後的資訊。

ASML 表示，隨著每項新技術的製程技術不斷縮小，缺陷忍受度也變得越來越小，以至於
無法透過傳統光學檢測發現許多關鍵性缺陷。透過 ASML 的 MBI 新型多電子光束檢測系
統，能檢測到微小的缺陷，同時解決以前電子束檢測的執行速度限制，使其更適合大量製
造環境。

ASML 還強調，目前第一個多電子束檢查系統已在本週交付客戶驗證。ASML 計畫為後代增
加光束數量和提高光束解析度，以符合晶片製造商的產品路線圖要求。

3.心得/評論：
※必需填寫滿20字


漢微科威武,大家進場了嗎??
沒進場的要快喔,ASML旗下的企業喔

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推 sq23123     : hmi機台賣得不怎樣阿..有老大哥撐腰
噓 Rin5566     : 直接買asml就好
→ user5566    : 雖然事實並非如此  但無所謂  有題材就好
推 pikakami    : 漢微科不是被買走了 還在哦？
噓 Brightheat  : 你那裏還來得及
推 teremy      : 漢微科早就被併購了
推 roseritter  : 檢測不是KLA嘛？
推 Neo123      : 看COA hole跟看surface defect不一樣...
噓 pf775       : 這家才是真正的半導體技術主導者
推 cmcmisgod   : 難怪 上周我看到兩台他們的貨車運東西去某地
→ cmcmisgod   : 我懷疑的那某公司今天離開整理勃起了
推 wch6858     : Kla Onto(Rodulth+xxx) Camtek Nikon表示：
推 linchadwick : HMI買不到了吧，只能去歐洲買ASML啦！
推 qwert61310  : 直接歐印NMSL
推 dirtygg     : 我已經賣掉房子 All in NMSL 了
→ v9300087    : 中國買不到ASML 但NMSL應該沒問題