[新聞] 下世代高數值孔徑 EUV 售價逾 80 億元，

[cosmite (焼き団子)]

下世代高數值孔徑 EUV 售價逾 80 億元，屆時再掀資本支出大戰

https://bit.ly/3yOrQoZ


發布日期 2021 年 12 月 22 日 15:00

半導體先進製程關鍵之一就是曝光設備，原因是一方面曝光設備佔所有先進製程製造設備
成本 22% 左右，也佔製造工時 20% 左右。另一方面全球僅荷蘭商艾司摩爾 (ASML) 生產
先進極紫外光曝光設備 (EUV)，EUV 又是進入 10 奈米以下先進製程的必備關鍵。半導體
製造商要跨入先進製程，向 ASML 採購 EUV 曝光設備就必不可少。

目前 ASML 推出三代 EUV 曝光設備，分別是 TWINSCAN NXE: 3400B、NXE: 3400C、NXE:
3600D，數值孔徑都為 0.33。理論三代 EUV 曝光設備生產的晶片精度最多 2 奈米左右，
一旦進入 2 奈米節點以下，也就是埃米（1 埃米＝0.1 奈米）時，ASML 還得研發更高精
準度的曝光設備才行，稱為 High NA（高數值孔徑）EUV 曝光設備。

ASML 也早有準備。下一代高精準度 EUV 曝光設備型號為 EXE: 5000，數值孔徑為 0.55
，可用於 2 奈米節點以下晶片製造，如 1.4 奈米（14 埃米）、 1 奈米（10 埃米）等
製程。2020 年底有媒體報導，ASML 已基本研發完成高精準度 EUV 曝光設備，且正在試
產，預計 2022 年就開始商用。日前比利時微電子研究中心（imec）也表示，ASML EXE:
5000 EUV 曝光設備將在 2022~2023 年起供貨。

雖然 ASML 2022~2023 年提供 EXE: 5000 高精準度 EUV 曝光設備，不過要以新曝光設備
生產 2 奈米節點以下先進製程晶片，至少要到 2025 年後。據 Imec 11 月 ITF 大會先
進製程節點演進狀況，2025 年開始推出 A14（A14＝1.4 奈米）製程節點、2027 年推出
 A10（10＝1 奈米）製程節點、2029 年推出 A7（A7＝0.7 奈米）製程節點。

市場分析師也表示，ASML NXE: 5000 型號 0.55 高數值孔徑 EUV 曝光設備，預計每套售
價高達 3 億美元（約新台幣 83.5 億元），是 0.33 孔徑 EUV 曝光設備兩倍，對半導體
製造廠是另一驚人資本支出高峰期，目前僅台積電、三星、英特爾等三家廠商有能力持續
研發先進製程，未來競爭高數值孔徑 EUV 曝光設備搶得先機，將是難以避免的戲碼。



心得/評論：                             ※必需填寫滿20字
下世代EUV價錢為現在的兩倍 會增加台積電更多的製造成本吧

除非台積電把晶圓售價提高 不然獲利是會下降的

若是晶圓售價提高 那終端產品的售價也會提高對吧

對消費者來說 勢必又掀起一場價格戰爭

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 60.250.30.118 (臺灣)
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※ 編輯: cosmite (60.250.30.118 臺灣), 12/22/2021 18:12:10
推 AN94        : 完了 台積成本大增
推 Aixtron     : 與其擔心這個，不如擔心這台吃多少電
→ saisai34    : GG轉嫁能力強 大利多
推 kill2400    : 600盤10年
→ kill2400    : 外資早就提醒了 dead money 10年 每年增加的獲利早
→ kill2400    : 就被資本資出吃掉了 600盤10年不要不信
推 u97127011   : asml無腦多
→ u97127011   : GG不動沒關係  asml繼續給我噴起來
→ saisai34    : 資本支出增加 對手不跟 GG就繼續吃光市佔 有訂價權
推 jimmyid4    : SMH你懂的
→ saisai34    : 對手跟了 GG良率規模都比較強 過幾年三星i皇賠死
→ saisai34    : GG優勢更強 短空長多格局不變
推 u97127011   : smh好東西  大推
推 huk40199    : 600十年內天花板
推 aegis43210  : 三星和i皇營收比較高，比燒錢不會輸
推 apple123773 : 這台用電 聽說很恐怖
推 maxboy06    : 沒事兒 你各位點蠟燭電給gg用
推 a1106abc    : GG:先來10台
推 huk40199    : 土著不需要用電只有心中默唸我家房子漲很多
→ huk40199    : 就可以撐過去沒事的
推 bearian     : 電，ㄧ定夠，不要危言聳聽
推 horseorange : 10台太少
推 chobit618   : 緊張什麼，三星英特爾難道就不用買嗎？條件都一樣
推 okstephen1  : 與其擔心東擔心西 不如直接ASML
→ pf775       : 半導體真正核心技術都還是掌握在歐美日大廠手上
推 a810086     : 80億元可以請幾個工程師
推 stosto      : 一台十萬的手機快到了
→ stosto      : 三星燒錢不會死勒….他們都燒到快賠
→ stosto      : 錢了，怎麼可能一直挖東牆給semi燒
→ ILike58     : 就是要三星繼續跟啊，看他多能撐，其他投資對三星算
→ ILike58     : 小錢，半導體可不是，到時全世界就一間一線半導體廠
→ ILike58     : ，其餘都二線廠就爽了。
→ kuma660224  : EUV本來就明顯是資本之戰
→ kuma660224  : 所以GF聯電都覺得沒錢就別跟了
→ kuma660224  : 而GG已經買走目前一半已出貨量
→ kuma660224  : 三星的機台不多 還要分給記憶體部分用
→ kuma660224  : 就算同樣機器 效率差距也拉開了
→ kuma660224  : 因為不是機器能開機就效率一樣
推 NEX4036     : 老蘇果然先知 存股燒錢的台GG 不如存股紅茶店
→ kuma660224  : GG有全世界廠商出錢讓他燒
→ kuma660224  : 連intel都想出錢給GG包廠包線
推 apolloapollo: 一年不開張 開張吃80年
→ kevin61716  : 吃電怪獸
→ fallinlove15: 台積：便宜
推 jiansu      : 之前有人說 有high-NA intel才會想大量生產euv先進
→ jiansu      : 製程  之前單會給台積電 台積電會好到這個量產 之
→ jiansu      : 後intel順利的話就會急起直追
推 aegis43210  : 三星記憶體賺到爆，你說會賠錢??
推 aegis43210  : GG的n3用到了雙重曝光，i皇不想這樣玩
→ stocktonty  : 荷蘭仔買起來
→ strikesuper : 存股紅茶店笑死 那些1300上車的還有沒有呼吸都不知
→ strikesuper : 道了
推 a2006003    : dead money一路向下
推 driftingjong: 開什麼玩笑 沒看到處理器部分接下來幾乎是得GG者得
→ driftingjong: 天下嗎…
推 lits5       : 可惜電力供應不穩，嘻嘻坐等台積挫賽。
→ cleverblue26: GG後來直接蓋一座核電廠自己用，夢到的
推 saygogo     : Intel前面沒有累積EUV科技樹,後面沒有那麼簡單追
推 gracefeather: 緊要關頭會不會米國拿航母用的反應爐給GG用
推 A1pha       : 唉米是三小啦！
→ A1pha       : 埃就埃，加個米是三小！
推 A1pha       : Angstrom 哪來的meter?
→ yoshilin    : 2變1是縮小一半欸
推 jonaswang01 : 扣連 量測站pe直接住fab好了啦，這個要lay多久
噓 lise1017    : AAPL: 跟我談訂價權? 沒我的訂單 你股價回180吧你
→ lise1017    : 然後三星在DRAM 手機 面板賺來的跟GG比燒不見得燒輸
→ lise1017    : 更何況三星也不止這些 比燒GG不見得是對手
推 coolchin    : 這是關鍵設備，壟斷這硬體設備，對TSMC維持與對手差
→ coolchin    : 距，也是一種戰略手段，市場獨佔也有利提高代工報價
噓 kobe741107  : 這舊聞了吧......................................