[新聞] 俄要在2028年量產7奈米製程微影曝光設備

[MA40433 (Masa)]

原文標題：
戰鬥民族放大絕！俄羅斯 2028 年要量產 7 奈米製程微影曝光設備


原文連結：
https://reurl.cc/yM5ZAq

發布時間：
2022 年 10 月 24 日 7:00

記者署名：
作者 Atkinson

原文內容：

Tomshardware 報導，一家俄羅斯研究單位正在研究開發半導體微影曝光設備，預計可生
產 7 奈米製程晶片。計畫 2028 年完成，可能比 ASML Twinscan NXT:2000i 效能更高。
而 ASML 開發 Twinscan NXT:2000i 花了超過 10 年。


2 月 24 日俄烏戰爭爆發後，美國、英國和歐盟制裁俄羅斯，禁止幾乎所有先進晶圓廠與
俄羅斯合作。台灣也迅速禁止向俄羅斯供應先進晶片。英國制裁下，Arm 也不能將新半導
體矽智財權授權俄羅斯晶片設計廠商。故俄羅斯政府推出國家計畫，2030 年要自己開發
28奈米製程技術，並盡可能逆向工程歐美晶片取得技術，也要培養本地人才自製晶片。

俄羅斯想 2030 年量產 28 奈米仍很困難，俄羅斯最先進晶圓廠可製造 65 奈米製程晶片
，且美國等制裁，歐美半導體設備製造商也無法供應半導體設備。俄羅斯想量產 28 奈米
，必須自己設計建造晶圓生產設備，8 年內完成 ASML 和應用材料（Applied Materials
）花了幾十年才有的成果。

俄羅斯計畫由俄羅斯科學院下屬俄羅斯應用物理研究所（Russian Institute of
Applied Physics，IAP）超越所有人預期，到 2028 年研發且量產有 7 奈米製造能力的
微影曝光設備。但晶圓現代微影曝光設備高度複雜，牽涉到高效能光源、精密光學、精確
計算等關鍵零組件，但俄羅斯最頂尖應用物理研究機構，IAP 相信自己可以短時間開發出
工具。

俄羅斯想量產的設備與 ASML 或 NIKON 等不同。IAP 計劃使用大於 600W 的光源，曝光
波長為 11.3 奈米（EUV 波長為13.5 奈米），需要比現在更複雜的光學元件。因光源功
率相對較低，體積更緊湊，更容易製造，但代表微影曝光設備晶片產量將大大低於現代深
紫外（DUV）微影曝光設備。IAP 表示這不會是問題。

32 奈米以下製程，目前主流是沉浸式微影曝光設備。ASML 於 2003 年底推出第一款沉浸
式微影曝光設備 Twinscan XT:1250i，並在 2004 年第三季交貨，生產 65 奈米邏輯晶片
和 70 奈米等級 DRAM。之後花了約 5 年 2008 年底宣布推出支援 32 奈米的 Twinscan
NXT:1950i 沉浸式微影曝光設備，2009 年交貨。

以上代表技術領先者 ASML 約花 9 年才在 2018 年交貨支援 7 奈米和 5 奈米製程的
Twinscan NXT:2000i DUV。再從 ASML 產品發展歷程看，從 65 奈米發展到 7 奈米，總
計花了 14 年。現在沒有任何經驗或與晶片製造商沒有任何關係的俄羅斯 IAP，打算 6
年從頭製造支援 7 奈米製程的微影曝光設備，聽起來實在不可行，但 IAP 充滿熱情。


俄羅斯科學院微結構物理研究所副所長 Nikolai Chkhalo 表示，全球微影曝光技術領導
者 ASML 近 20 年來一直在開發 EUV 微影曝光設備，且非常複雜，但 ASML 目標是保持
世界最大晶圓廠極高生產力。俄羅斯為科學技術發展，沒人需要如此高生產力。IAP 將從
俄羅斯國內需求和任務出發，微電子學不是數量，而是品質。需轉移到自己的製造技術，
自己訂定設計標準，自己發展工具、工程、材料。走自己的路不可避免。

據發展時程，IAP 計畫 2024 年前建造功能齊全的首代微影曝光設備設備，不必具備高生
產率或最大解析度，只要能運作，對潛在投資者有吸引力。之後 IAP 打算 2026 年前製
造有更高生產力和解析度的微影曝光設備測試版。這時這套機器應該可量產晶圓，但生產
力不會達最大。終極版 2028 年問世，不但能取得高性能光源，且有更優計算量測和整體
能力。不過還未公布 IAP 與合作夥伴會生產多少設備。

還有一個問題，就是晶圓廠設備不只微影曝光設備，還有其他設備負責蝕刻、沉積、抗蝕
劑去除、計量和檢測等，俄羅斯也都沒有製造。還有一些不太先進的機器，如純氧和純水
生產系統，俄羅斯也沒有生產，還需在禁運國家之外，尋找晶圓所需矽晶圓材料。即使
IAP 設法做出微影曝光設備，仍需繼續做出其他設備，才能建造現代化晶圓廠。



心得/評論：
中俄兩國都打算啟動國家力量發展半導體
俄國看來比中國更誇張
中國半導體至少發展了30年，
2001年聯電到中國設廠後有了巨大的進展
但至今7奈米還是無法進入大量生產程度
俄羅斯看起來是想用跳級的方式進入
只是不清楚俄國的科技力有沒有到這個程度
(走私程度應該是有，但是端上檯面的技術力就很難說了)


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推 stosto      : 哪天飛彈上的計算出問題都不是意外
推 JoyceTong   : 2087年可能可以
推 poeoe       : 沒可能 一堆化學品買不到也是沒用
推 cuteSquirrel: 太吹了
推 pwseki206   : 超中趕台? XD
→ elainakuo   : 中俄只會吹牛皮
推 junibookye  : 阿 2028
推 clubbox     : 原來gg跌這個
推 FlynnZhang  : 好
推 CRAZYAWIND  : 歐美再用3奈米  俄自己65奈米  難怪打不贏烏克蘭
→ chocoball   : 中國吹我還信  俄羅斯???
推 npc776      : 喜聞樂見 吹得越大越好 破的時候畫面才精彩
推 qwe22992168 : 俄共的工業那麼強 做個小小的晶片 根本簡單的要死
→ sezna       : 手刻晶片重演
噓 dos01       : 支那喊了幾年了 連個影都沒有 還直接被當前掏錢坑
推 crystal0504 : o.O 好～喔…！
→ futurerich  : 想太多惹 還是洗洗睡吧
推 tobbaco     : 俄羅斯感覺就有很多黑科技...
→ crystal0504 : 被中國晶片銃康之後會怕了
推 apolloapollo: 未來就會看到一堆俄商人頭公司在新竹了 讚
→ DAEVA       : 完了
推 lc85301     : 二哥瑟瑟發抖
推 KenZheng    : 牛
→ illreal     : 重點是量產，不然實驗室都做得出來。
推 blueseason  : 黨的八級鉗工要熱身惹
噓 msty        : 這兩大國只會比唬爛？！
推 crystal0504 : 伏特加喝下去做夢最快
推 yu1111116   : 我之前才知道ASML更偏向整合各家技術
→ jaguars33   : 普丁把7奈米當什麼rocket science啊
→ toshizo     : 晶片大煉鋼嗎？
→ yu1111116   : 是全世界各家頂尖公司合力弄出來的光刻機
推 bbbbbird    : 新年計劃
推 ezorttc     : 俄國沒有專利考量當然可以神速發展
推 seemoon2000 : 誒 這吹得比中國還猛真的ok嗎
→ shawncarter : 如果不是烏克蘭戰爭我還真相信戰鬥民族的包裝
→ iio         : 科學研究(X 軍用(O        講科研是要虎洨給誰聽阿?
→ jaguars33   : 就像說中國AI很強 那怎麼沒算到維尼登基
推 LewisRong   : 根本沒材料是要做什麼 材料都在日本手上...
推 cityhunter04: 超英趕美，大要進又來了嗎？
推 siopp       : 做得出來再說啦 牛皮吹破了
→ WenliYang   : 好了啦…
噓 nk10803     : 戰鬥民族會帶伏特加進去輪班嘛?肝已經先輸了
推 k798976869  : 中俄聯手惹 不過八成是吹牛騙獨裁領導者不懂
→ k798976869  : 大煉鋼大躍進
推 blackbrid   : 不是2082嗎
推 k85564      : 不就duv而已 還好吧
→ kyova       : 先跟中國要技術阿...看拿什麼來換
→ kyova       : 馬上推進到7奈米。後面就沒救了
→ huk40199    : 全世界都會做笑死
→ kyova       : 什麼都自己來大概50到一百年吧...
推 jexcel      : 手刻晶片沒問題
推 gabriel     : 弄幾台機台remark 說自己做有可能 要量產很難
→ gotozzz     : 感覺只做光源應付一下
推 ericsonzhen : 普丁也要手刻晶片？
→ cohj        : 中俄父子國一起手刻晶片
推 godog       : 連俄羅斯這種新聞都可以拿來自我滿足 gg還有的跌
推 rbull       : 就以前登月競爭那一套回來了
推 jerrylin    : 2028普丁還沒下台嗎
推 Timba       : Intel 都喊要超越GG 喊好多年了==
推 b1izzard2000: 彎道超車啦 小心翻車 嘻嘻
→ Timba       : 先超越牙膏廠再來?
推 good5755    : 發現中共晶片品質太爛 只好自己來
→ chinaeatshit: 蘇聯航太科技以前屌打美國  俄國有機會在晶片逆轟
→ chinaeatshit: 高灰嗎
→ acserro     : 俄羅斯國寶級豪雕師傅受此大任為國家手雕7奈米晶片
推 cannedtuna  : 電機系學生還沒被動員去開坦克？
推 iagb        : 俄動員這麼多年輕人了還有人材？
推 lemontw     : 蘇聯那票外星人出來幫忙就可以了
推 s800525     : 俄國真空管做得不錯，建議可以在這邊鑽研
→ moonaya     : 不過 俄羅斯科學方面應該遠大於阿六
→ jerrylin    : 俄國現在連四五十奈米都很拚吧
推 baka1412    : https://i.imgur.com/DIuWmJG.jpg
→ WTF55665566 : 大媽手刻晶片俄羅斯版
推 BruceChen227: 笑死 這麽簡單GG市佔就不會這麼高了啦
→ BruceChen227: 唬爛小
→ ohya111326  : 學中國唬爛第一嗎
推 s800525     : 布丁說要國產替代，難道要兩手一攤說不可能嗎
→ s800525     : 小心直接被抄家
推 aivc        : 這應該po joke版吧！
→ samm3320    : 上一次蘇聯也以為自己啥都能幹
推 s800525     : JOKE版+1
→ tctv2002    : 沒機台 要用刻的嗎
推 jason30918  : 俄國的基礎科學不差，就怕開發出來又被26剽竊
推 punchin     : 還以爲要核戰了還能到2028
→ tomdavis    : 3661亮燈! 怎麼亮綠燈阿!!
→ tomdavis    : 推錯篇了XD 本來要去推閒聊!
推 fenix220    : 沒有戰鬥民族灌了伏特加做不到的事
推 pqpqpqpq    : 用喊的誰不會？
推 Like5566Like: 回去搞真空管算了
→ kurtman     : 聽聽就好~隔壁國也不是一樣XD
→ chewthelife8: 做夢吧
推 g0t24568    : 強
→ Kyo5566     : 沒機台 戰鬥民族就用雙手做
推 justdoit    : 派間諜綁架GGer去俄國
推 wysptt      : 人才都送去烏克蘭絞肉了，不可能的事
推 Galm        : 量產和良率才是關鍵
→ krezev      : 布丁：用手刻也得給我刻出來
推 akway       : 2028？確定俄軍還在嗎？
推 q16941153   : 2028年，笑死人
噓 bairn       : 把真空管做好比較實際啦
→ dnaspirit   : 俄爹連130nm都弄不出來ㄟ 確定7nm?
推 intelb06385 : 先撐過明年夏天吧 今年冬天歐洲撐過去 就換你要熬過
→ intelb06385 : 春夏了
推 flyingdeeck : 光阻劑-南韓&日本、半導體設計製造-中國、半導體生
→ flyingdeeck : 產設備-俄國（？）、EDA-？？？？？
→ apple123773 : 真空管曝光機??? 嚇到了巴哈哈哈
→ hbj1941     : 顯影劑等等材料哪來？
→ summer08818 : EDA大概就只能用中國的華大九天那些吧XDD
推 thegame09305: 2028GG都1奈米了
→ fg008kimo   : 不過俄國間諜很強 去荷蘭或日本偷一下也不是難事
→ fg008kimo   : 甚至美國和比利時也有某A研發中心
推 gfsog       : 半導體不是一個工廠幾台機器就可以做的，和中一樣
→ gfsog       : 天真
推 FadOut      : 翻譯：無法量產、良率低落、謝謝指教
推 wulaw5566   : 小批量設備，跟ASML的不是同個方向。
→ sdhpipt     : 古時候蘇聯有拿到德國的鏡片技術 但是已經是70多年
→ sdhpipt     : 以前的事情了 你說做晶圓長晶有獨門技術我相信 這個
→ sdhpipt     : 我實在難以相信
→ sdhpipt     : 如果不追求良率 只是要生產軍用替代晶片 不需要7奈
→ sdhpipt     : 米這麼小的啊 120奈米就夠用了
推 Timba       : 偷生產技術 要怎偷阿
推 lonelysam   : 2028年.....6年後  他們的現有設備早就壞光了吧
推 crazydj     : 真的假的
→ greedypeople: 好喔
→ junping1232 : 2028？
推 ddtlau      : 不管專利只是抄作業應該有可能吧？
推 hanslins    : 俄羅斯做不到的，他沒有那麼好的化學品基礎與精密
→ hanslins    : 機械基礎
推 baboosh     : 抄也沒用 因為零件買不到
推 acolam      : 不能小看俄羅斯的基礎研究能力 真的很強
→ baboosh     : 每個零件都是世界500強的結晶 別傻了啦
→ baboosh     : 俄羅斯要是做的出來 那些500強去吃土好了
推 d147258     : 曝光機要是這麼好做，就不會是ASML獨大
推 fattyeddie  : 先打贏烏克蘭再說啦  超越ASML??
推 a701019     : 好唷，看看Intel當初喊多久了
→ twinmick    : 在實驗室做啥是都做的出來，難的是要可以商用量產啊
推 eeccms      : 徒手刻，老子就不信刻不出來
推 ziff        : 重點是，研發成功前不要讓我們上戰場送死
推 bheegrl     : 醒
噓 max78429    : 屁蛋啦
→ s3z15a3z15a : 俄羅斯連65奈米都搞不太定了..
→ eemail      : 會不會到時不叫俄羅斯了@@
推 TABEKING    : 自幹大概2088還搞不出來
推 mrymh       : 民族手刻
噓 geesegeese  : 想用電子設備還反美，找死
推 forever9801 : 笑死 ASML自己關鍵零組件也都是世界各地買的
→ forever9801 : 你連雷射頭之類的也要自己研發 這樣還想2028生出來
推 pmes9866    : 鬼扯
推 ilove305    : 跟中國拿的吧