[新聞] 力拚ASML！佳能開賣晶片製造新設備

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力拚ASML！佳能開賣晶片製造新設備

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https://ec.ltn.com.tw/article/breakingnews/4457641

發布時間：

2023/10/14 07:40

記者署名：

※原文無記載者得留空

原文內容：

〔財經頻道／綜合報導〕日本佳能公司已開始銷售奈米壓印（Nanoimprint lithography
）半導體製造系統設備，試圖與業界領導者荷商ASML和日商Nikon競爭，搶佔半導體製造
工具市佔率。

佳能新型晶片製造機可以使用極紫外微影 （EUV） 生產相當於5奈米規模的電路，EUV由
行業領導者ASML主導。佳能在周五（13日）的聲明中表示，預計其設備將透過改進達到下
一代 2nm生產。與國內同行Nikon一樣，佳能在EUV競賽中遠遠落後ASML，但其奈米壓印方
法可能有助其縮小差距。

奈米壓印曝光長期以來一直提供光學光刻的低成本替代方案，並且過去曾由記憶體製造商
SK 海力士和東芝公司推廣。這些機器繞過傳統的光刻技術，直接將電路圖案壓印到矽晶
圓上。東芝前記憶體部門Kioxia Holdings Corp. 之前測試過佳能的納米壓印機，確認已
達到商業成熟度。佳能現在證明它已經解決困擾的高缺陷率等問題。

佳能於2014年收購奈米壓印先驅Molecular Imprints Inc.，並花了近十年的時間研究該
技術。作為台積電的供應商，佳能正在東京北部的宇都宮建設20年來第一座光刻設備新工
廠，預計將於2025年投入生產。

值得注意的是，佳能的機器也可能為中美貿易戰增添新戰線，因為貿易制裁禁止向中國進
口EUV機器，而佳能新的技術完全跳過光刻技術，而是將所需的電路圖案壓印到矽晶圓上
。由於產品的新穎性，目前貿易限制不太可能明確禁止對中國銷售。佳能發言人拒絕就新
設備是否受到日本出口限制發表評論。

受日本股市大規模上漲以及人工智慧應用帶來的晶片製造設備需求提振的推動，佳能股價
今年以來已上漲26%。

心得/評論：

佳能推出奈米壓印半導體製造系統設備 不清楚此技術是否能威脅到ASML 但有競爭或許

是件好事 能壓低EUV價格?!

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推 gt20210     : 日本佳能 不是台灣佳能?
推 smiles0113  : 記憶體 有規則的Cell 才是壓印能發揮的地方 威脅不
→ smiles0113  : 到EUV 啦
推 gk1329      : 大爆噴
→ gk1329      : 如果賣的好 有資金可以研發 技術上也許可以克服
→ gk1329      : 壓印耗能只有傳統1/10
噓 deepdish    : 慢惹zzzzzz
→ deepdish    : https://i.imgur.com/3CToZZt.gif
→ guilty13    : 宇都宮，好
推 randystock  : 壓印很難吧，這技術很早就有了
推 handfoxx    : 力拼NMSL
→ loveup      : 日本不等於台灣
推 mnmnooo     : 佳能ALLIN了!
推 kensmile    : 日本魂重返榮耀
推 ccmacker    : 晚了！沒人要
→ kensmile    : 台股股價太貴了
→ KILLE       : 観音再世
推 jacid       : 台灣佳能離前波高點還遠，請加油～
→ NikonD5     : 日本佳能是那個賣相機的CANON?
推 augustlion  : asml週五在跌這？
推 snider      : 淦，原來不是只有asml會做
推 acer1832a   : 佳能還有做印表機，這個技術比較像印表機
推 truelove356 : 對岸也快有囉
→ acer1832a   : 這個技術出來有一段時間了，良率還是主要問題
→ chinaeatshit: 日本做的出來  中國大概也快了  30年後大概沒有台
→ chinaeatshit: 積電了吧
推 j68345517   : 光罩崩崩，雷射崩崩？
推 xtt         : 印刷術可是中國的三大發明，看來穩了 (咦？)
推 KSUGOD      : 台灣佳能離日本很遠好嗎 不要亂推
推 double131   : 日本佳能、台灣佳能、佳能半導體是三家不同公司，
→ double131   : 不過都是有關係的。佳能企業2374才是跟上面三家完
→ double131   : 全沒關係的
推 Chilloutt   : 重返農藥？
推 zxcvb7700   : 明天看到佳能漲停 也不意外了XDD
→ gk1329      : 反正會噴就好 有沒有關沒差= =
→ gk1329      : 禮拜一歐硬
推 KSUGOD      : all in賺一根 跑
噓 keigo800004 : 佳能，明天要漲停了嗎？
推 overno      : 第2段就說要EUV，後面又說不用光刻技術
→ KFC007      : 奈米壓印如果速度跟ASML一樣就厲害了，奈米壓印的缺
→ KFC007      : 點就是定位問題以及壓印深度問題，光這兩個問題不知
→ KFC007      : 道ASML就可以曝多少片了
推 overno      : 如果比不上Asml ，肯定只有中國可能買單，但美國爸
→ overno      : 爸也肯定會下禁令
→ overno      : ASML 繼續稱霸
推 nbarepeat   : 終於佳能要漲停了
推 fujioqq     : 明天應該有人會下錯單XD
推 motan       : 可以做到2奈米又能省成本又良率改善，怎麼聽起來很
→ motan       : 猛
推 yoshilin    : 這樣也不需要光阻劑了嗎？
推 bj45566     : 怎麼感覺是想繞過美國禁令大賣到中國市場 @@
推 billy56     : 沒有用到歐美技術的話 的確有可能賣機台給中國
→ tsuneo      : 周一大概又有搞錯或趁亂炒的
推 aegis43210  : 美國不會擋啦，這個奈米壓印要壓出合格的圖案，速度
→ aegis43210  : 很慢，沒什麼競爭力
推 frozenmoon  : 這篇留言蠻專業的
推 zaqimon     : 速度很慢多買機台不就好了 壓印機台應該比較便宜吧
推 thinksilver : 看asml股價就知道是真是假了阿
→ faelone     : 台灣有錢主力根本不關有沒有關係，名字對了就是漲停
推 good10740   : Canon佳能，有印表機底子
推 qwe22992168 : 其概念來自於共匪的手刻晶片 才會有壓印的做法
推 Looming     : 真的假的阿 上古老古董了捏 要確定喔
推 tobbaco     : 壓印也要光阻劑啊 只是壓印的材料應該還跟不上小線
→ tobbaco     : 寬
→ tobbaco     : 還有Canon Nikon 曝光機都做多久了 只是沒辦法做到
→ tobbaco     :  ArF 跟 EUV而已
推 yitniya     : 如果不能賣中國，實在看不到市場在哪裡，又不是顛覆
→ yitniya     : 性的技術
推 KrisNYC     : 算是宣示性的 其實ASML應該來資助Canon
→ KrisNYC     : 不然ASML遲早吃反壟斷
推 kevin31a2   : 成品出來再說，嘴砲看多了
推 PoloHuang   : 壓印也是要先做出一個同樣奈米大小的東西…
推 stosto      : Nikon 機台28都很拼了，可以弄到euv?
推 Aixtron     : 主要是材料，光阻旋塗的再曝光顯影，這直接壓的，在
→ Aixtron     : CMP完的表面黏著度？蝕刻選擇比低的材料要厚，就不
→ Aixtron     : 容易保形脫膜！
推 Surrounder  : 這個defect一定多到爆 如果能用um等級的面板業就先
→ Surrounder  : 用了 怎麼會是最難的2nm導入