Re: [新聞] ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破

[rosemary0401 (rosemary)]

※ 引述《scitamehtam (新竹恐牙狼)》之銘言：
: ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破 下一步國產曝光機？
: https://www.chinatimes.com/realtimenews/20250118000073-260410
: 哈爾濱工業大學（哈工大）近日宣布，已成功研發出13.5奈米極紫外光（EUV）光源技術
: ，打破此領域由美國企業壟斷的局面，也為大陸的國產EUV曝光機製造點亮了一線曙光。
: 此消息一出，對於掌握EUV曝光機主導地位的ASML（艾司摩爾）來說始料未及，該公司先
: 前曾強調，EUV機台的開發仰賴超過40個國家、數百家供應商技術的匯集。

發表一些自己的看法，給大家批判。

先說我自己的結論：
中國在科研領域確實有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。
ASML的CEO之前說『和西方的差距有10-15年』其實並不誇張。[1]

首先哈工大並沒有像ASML一樣，完全地掌握EUV光源技術，
這個甚至很多中國的自媒體都有提到。

EUV的光源系統有多條技術路線：
1. 同步輻射
2. FEL
3. LPP
4. DPP
5. LDP

其中LPP和DPP是比較有商用可能性的，目前ASML的EUV光源系統採用的LPP技術路線，
而哈工大取的進展的是ASML曾經捨棄的DPP路線，
而且這僅僅是在DPP的研究上取得一些成果，距離可以商用，並且用於量產，
可能還需要很長的一段時間。

所以我們才說哈工大並沒有完全地掌握EUV光源技術。

那中國要掌握EUV光源技術大概需要多久呢？

我們可以參考過去技術突破的一些案例。

比方說幾週前大日本印刷DNP有技術突破，開發出給High-NA EUV用的1奈米光罩[2]，
但同時也提到預計在2027年才能用於2奈米的量產，並在2030年才能用於1奈米的量產。

又比方說在2023年底，佳能開發出號稱可以用於2奈米壓印(NIL)設備，
但目前僅鍇俠用於15奈米的NAND快閃記憶體製造上，
並且計劃在2025年用於5奈米的NAND快閃記憶體製造， [3]
並沒有提到NIL什麼時候可以用在2奈米的量產。

所以一個技術的突破，到可以商用量產，花個3-5年，那是很正常的。
更何況哈工大取的進展的是ASML曾經捨棄的DPP技術路線，
還不是目前正在用的LPP技術路線。

如果中國能花5年追上ASML目前的EUV光源技術，那已經是很了不起的成就了。

但那也僅僅是突破光源技術而已......

EUV曝光機有5000+個供應商，數10萬個零部件，光源技術僅僅是EUV的核心零件之一。

EUV曝光機的核心零件包含但不限於：
光源系統：美國Cymer，日本Gigaphoton
鏡頭：德國蔡司
光罩：美國Photronics，日本DNP
雙工作台：日本東京威力科創
真空儀器儀表：美國BrooksAutomation
離子注入機套件：美國AxcelisTechnologies
…等等

台灣的漢微科和信邦電子也都有提供零部件給ASML。
而這些提供零部件給ASML的公司，很多都是該領域的一方之霸。
所以人們才說EUV曝光機是皇冠上的珍珠，是人類智慧的結晶，
很難由一個國家單獨製造出來。

當然，這5000+個供應商，中國未必全部都要攻克，
也許有些零件不在制裁清單上面，用買的也可以。
如果中國在5-10年內做出一台EUV的樣機，
我並不會感到太訝異(但從樣機到可以量產，可能還要再花個3-5年)
因為尼康就曾在2007-2008年左右就做出EUV的樣機， [4]
只因研發成本昂貴，又無法在商業上取的進展，最終放棄了EUV的開發。


我的結論是，中國在科研領域確實有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。
ASML的CEO之前說『和西方的差距有10-15年』其實並不誇張。[1]
如果中國有無限的資金，花個10-15年趕上現在的ASML，也許真有可能。


Reference:
[1] https://reurl.cc/5DEV8z
[2] https://reurl.cc/M6G9Rk
[3] https://biglegsrabbit.blogspot.com/2025/01/nil.html
[4] https://www.163.com/dy/article/HVFS9PFI0553OSM3.html

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推 good5755    : 可是我記得前幾年網路上都在吹2025超越歐美耶
推 Destery     : 砸$也許有機會 但成本高昂 商用恐怕無人買單
推 ssarc       : 日本供應零件居然有那麼多
推 g27834618   : 中吹可不是這樣想喔
推 stocktonty  : 日本還是關鍵材料劑的供應商
推 kobebrian   : 趕上「現在的」 也只是「有可能」
推 atlaswhz    : 中吹疑美:日本半導體業被美廢掉
推 cfceo       : 我記得前兩年是給張圖紙設計圖，中國都做不出來耶
推 cfceo       : 現在都能出口白菜價光刻機，歐美半導體強一點好嗎？
→ cfceo       : 領先個50年好嗎，不然門檻太低很容易跨越啊
推 bj45566     : 你肯定是這討論串中最瞭解 EUV 的專家
→ bj45566     : 感謝詳細解說
推 kickflip    : 同意
推 b1izzard2000: 專業
→ WEYNI       : 中國目前策略 穩定7奈米良率 尋求開發設備
推 wallowes    : 是指15年後追到2025年的水準嗎?
→ bnn         : 問就是華為買單 讚讚讚 快蓋一百座
推 lovehandle  : 這篇才是理性討論
推 hanmas      : 好像很專業
推 URayJJ      : 還附上出處 請收下我的膝蓋
推 BaGaJohn5566: 專業 給推
推 RegOwl      : 推專業
推 reason11    : 專業推
推 roseritter  : 推
→ ActionII    : Intel 這樣敗也是花了好幾年才變成這樣…要超車真
→ ActionII    : 的要花時間
→ ActionII    : Zen1 都是十年前發表的東西了
→ ActionII    : 追趕先行者本來就是數十年累積的事
推 FFFAAA      : 實力差距確實存在一定距離，但如果零件基本上都是大
→ FFFAAA      : 陸出廠，外地組裝設定再銷售給大陸台灣，那是不是大
→ FFFAAA      : 陸COPY 能力再度顯現，那天突破精進再慢慢追上這可
→ FFFAAA      : 能發生？例如電池？
推 mytropicfish: 推
推 chanceperson: 看不懂只好推了
推 alau        : 中國最大的塞子-小學生，不先幹掉是沒有希望的
推 kendiv      : 問題就是對手也會進步 在不能偷的情況下 差距只會越
→ kendiv      : 拉越大
推 FishYui     : 專業給推，實際上應該也是如此，尖端科技並不存在
→ FishYui     : 彎道超車，就算舉全國之力狠砸錢也不是一兩年就能
→ FishYui     : 超越的事
推 Blastodern  : 笑死，這篇太中肯完全看不到中吹，可能在跟統戰部
→ Blastodern  : 要文案吧。
推 HiuAnOP     : 現在是拼的是 歐美日台分工合作vs中國自行研抄襲
→ HiuAnOP     : 看哪一個集團進步速度會比較快
推 HiuAnOP     : 人口其實不是科研進步最大重點 就算要比歐美日加起
→ HiuAnOP     : 來人也夠多了，還有印度人才庫呢
推 sgaor       : 這篇文章也點出大家常問到的，為何荷蘭商要聽美國
→ sgaor       : 的
→ sgaor       : 但這些內容在晶片戰爭都有啊，我以為討論gg看完晶
→ sgaor       : 片戰爭是基本操作
→ maple76226  : 論文大師這篇沒辦法噴或吹某些國，只好去上面那篇
→ maple76226  : 下面
推 fg008kimo   : 但我發現中國的策略就是做出你的7.8成 就可以吹了
→ fg008kimo   : 他們目標是做出7.8成效能 然後吹到跟你不相上下  再
→ fg008kimo   : 用價格戰玩到你倒 或是把你打到壓力很大
→ fg008kimo   : 電池 太陽能 晶圓成熟製程可以這樣玩 高階的可能會
→ fg008kimo   : 先拆解大模組去一一攻 先抄襲然後改良 接近你
→ loko        : 花10-15年趕上現在的ASML 那東西也只是垃圾
推 konichiwaman: 來一個有料的發文了
推 fancyrex    : 推
推 lofiktb     : 認真分析推
推 APC         : 某國問題是一直想彎道超車，但搞到經濟淚潸潸
推 UniQue3oNe  : advance node沒有什麼七八成這種事，沒有相近的良
→ UniQue3oNe  : 率就是賠到脫褲子
→ mangobing   : 光源已經不是Cymer囉
推 sansiaman   : 專業分析推
推 hune        : 當年狂吹的2025中國製造 如今...
推 hardworking : 推專業
推 camellala   : 專業給推
推 shi0520     : 漢微科已經被ASML併購了
推 turgnev     : 2050年會達到2025年的水準
推 Instance    : 推
推 WarGod5566  : 即使波長對了，還有光束品質要處理
推 lcy317      : 什麼東西都7-8成 到了良率上就變成1-2成了
→ lcy317      : 尖端科技是技術的累積 沒有什麼彎道超車
→ lcy317      : 中國的強項是改良 泛應用化 你要說難聽就抄襲 複製
→ lcy317      : 光是蔡司那個鏡頭反射鏡 全世界就沒有第二個廠商
推 elliotpepe  : 專業
推 AirLee      : 領先10年就夠了，除以二讓你5年追上，五年內台積營
→ AirLee      : 收都賺翻了
推 Tohkachan   : 先進製程 良率差一點成本可不是差一點 成熟能這樣搞
推 yannicklatte: 推
→ Tohkachan   : 先進不可能 但只是要滿足中國內部科技國防需求也許
→ Tohkachan   : 夠吧
→ dickyatw111 : ---中國常在說：dpp路線，終將走向滅亡
推 BarryDale   : 花10-15年只能趕上2025年的西方水準，到時候已經是
→ BarryDale   : 2035年了，2035年時用2025時的EUV也是沒用
→ BarryDale   : 中國的可商業運用被卡在7奈米幾乎是確定的事情了
推 yoshian886  : 美國那幾家技術流出這麼多，只鞭asml根本搞笑
推 doranako    : 推一個
→ AirLee      : 要搞這麼大個機台就真的不是那麼簡單
推 nn1975      : 中國倒了最好 吹了幾十年 還是一堆土霸
推 YJJ         : 精密中的精密
推 sky121      : 打開第一篇就看到專家 推
推 lyxiang     : 專業推
推 rize1216    : 專業分析推一個
推 s213092921  : 你說的很好，但是2025中國製造
推 u3330727    : 這才是比較接近實際的看法，畢竟實驗室到量產過程
→ u3330727    : 還有很多問題要克服
推 super1315566: 推推
推 sgeneral    : 這篇好有說服力 讚
推 minazukimaya: 可是報導裡說粒子加速產生光 這是同步幅射啊...
→ minazukimaya: 不是DPP 所以要嘛是記者搞錯 要嘛又是一貫的胡吹
推 milubi      : 推
→ potionx     : 有無限的資金幹嘛去做一個賺有限錢的東西 邏輯壞死
→ potionx     : 所以必然是做不成功的
推 ImMACACO    : 專業
推 SLOWFAX     : 嗯 中國走DPP路線 不怕被小粉紅出征嗎