[請益] 半導體製程UV curing

[hiyasa (asashi)]

請教下

小弟沒進去過半導體廠 最近在寫些半導體產業狀況
若有寫錯麻煩訂正下 謝謝!

最近查到"UV curing"(紫外光固化) 就UV固化設備
google查到
他是用在微影製程
主要功能是利用UV光對光阻進行預處理以加強光阻的強度

這是還沒在曝光前預熱(軟烤)的嗎??  還是其他製程?
還是我查的資料有錯 不是用在半導體製程

謝謝!!!

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.171.11.45
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1446298224.A.772.html
推 ChuchingMan: UV是單獨出來的機台, 通常是在IMPL前的製程
推 bear0: 不是用在黃光，用在 TF 氧化薄膜上，使固化沒錯
推 lvolingyi: tf 的ultra low k吧
推 melzard: To 1&2F, 確實有用在微影製程.後段metal 顯影後可用
→ melzard: 用在哪看工廠製程設計上可以有不同選擇 我相信1.2樓看過
→ melzard: 的flow確實有人會這樣安排
推 melzard: 這種機台的結構設計上相對其他機台簡單一些 因為只做
→ melzard: UV照射, 所以run貨速度非常快, 需要監測的參數也較少
→ melzard: 但是相對來說如果發生問題也比較難第一時間發現
推 lewecool: LK film後的UV Curing
推 q169: 填via的洞啦.....
推 windbells: 用來detapping？
推 marslgj: PE:X！又殘膠了！
推 momorabbit: 很多地方有用@@利用不同波段用在不同的地方~
→ Rweiwei: UV curing 要了解到是把什麼原子Cur 出來，半導體通常用D
→ Rweiwei: ep之後
推 toNpppa: Pm有夠麻煩