[新聞] 重回摩爾定律兩大武器 EUV＋三五族成大

[rachel5566 (rachel5566)]

重回摩爾定律兩大武器 EUV＋三五族成大勢所趨

2016年04月05日 04:09 涂志豪／台北報導

英特爾在14奈米及10奈米製程推進出現延遲，已影響到處理器推出時程，也讓業界及市場
質疑：摩爾定律是否已達極限？不過，英特爾仍積極尋求在7奈米時代重回摩爾定律的方
法，其中兩大武器，分別是被視為重大微影技術世代交替的極紫外光（EUV），以及開始
採用包括砷化銦鎵（InGaAs）及磷化銦（InP）等三五族半導體材料。

摩爾定律能否持續走下去，主要關鍵在於微影技術難度愈來愈高。目前包括英特爾、台積
電、三星等大廠，主要採用多重曝光（multi-patterning）的浸潤式微影（immersion
lithography）技術，但當製程技術走到10奈米世代時，高密度的邏輯IC需要進行至少4次
的曝光製程，製造成本自然大幅拉高。

為了解決微影曝光製程的成本問題，半導體大廠近幾年已著手進行EUV微影技術的研發，
近一年來，EUV技術雖然有明顯突破，但在量產上仍未達到該有的經濟規模。不過，根據
EUV設備大廠艾司摩爾（ASML）的說明，今年若能將每日曝光晶圓產能提高到超過1,500片
，將有助於業界開始採用EUV技術。

英特爾已規畫在7奈米製程開始採用EUV技術，若是可以達到量產經濟規模，則英特爾可望
在7奈米世代重新回到摩爾定律的循環。至於台積電部份，已計畫在7奈米開始進行試產，
若一切順利，將可在5奈米世代開始導入EUV技術。不論英特爾或台積電，EUV量產的時間
點約落在2020年左右。

半導體材料也是延續摩爾定律的重要改變。英特爾已開始試著採用包括砷化銦鎵（InGaAs
）及磷化銦（InP）等三五族半導體材料，希望能夠在7奈米之後進行材料上的改變，只要
能重回摩爾定律的循環，英特爾的處理器發展策略就可回到二年循環的軌道。

台積電16奈米開始採用鰭式場效電晶體（FinFET）製程，而10奈米及7奈米世將延續採用
FinFET技術，而到5奈米之後，也已計畫更改半導體材料。據了解，台積電很有可能會在5
奈米世代採用InGaAs的三五族半導體材料，來維持摩爾定律的有效性。

http://www.chinatimes.com/newspapers/20160405000104-260204

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三五族等了五十年要起飛了?

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推 Hateson: 一天一台1500片 一小時要run62～63片？
→ check: 還在摩爾定律 記者對科技業的印象只剩過時很久的四個字
推 yof86109: 我怎麼記得我之前看過三五族沒辦法做在大尺寸wafer?
→ PYHsieh: 都快要進入量子的空間還在談摩爾定律?
推 jqp9b: 摩爾定律那裡過時很久？ 10nm,7nm,5nm一樣走在這條路上
推 Keelungman: 三五......ㄎ
推 jjkobe: LED做磊晶的有救了
推 bbdd203: 三五族要看MOCVD的機台研發  跟非矽材拉晶技術
推 bbdd203: 我覺得最後什麼記者據了解的部分根本唬爛?
→ bbdd203: 矽基做5nm都還在想  就想做三五族
→ bbdd203: 那台積還賣大腸能給晶元電幹嘛
推 bbdd203: 說錯  是LED賣給晶元
→ ljsnonocat2: 我猜III-V族有可能是直接壘epi在矽基板上
→ ljsnonocat2: 大尺寸用矽作為基材比較可行  經濟
→ ljsnonocat2: 反正元件真正需要的部分也只是最頂上面薄薄一層
→ ljsnonocat2: 沒必要整片都是III-V材料或是光電常用的藍寶石基板
推 ljsnonocat2: 到時物理尺寸應該還是停留在7~10nm  改用"等效尺寸"
推 jjkobe: 是用三五族來做通道而已，達成高電子電洞遷移率而已
推 tom520katie: 免啦，交給EUV就好了，快量產了
→ HFET: 看到 III-V 只能ㄎㄎ惹
推 jumpout: 台積還是有在弄LED  只是收回內部低調做(小聲)
推 bbdd203: epi 的MOCVD都不知道有沒有支援到八吋了  怎麼可能?
推 dos1019: 不太相信小I N7可以換成三五
推 garyk: 三五gg都在量產了
推 loloman: 林口穩懋要起飛了?
推 bbdd203: 八吋現在的黃光頂多撐到99nm 8吋的MOCVD機台也都還沒生
→ bbdd203: 產線化  怎麼曝N7??  還是小弟知情的太淺?
→ mikye: 八吋黃光曝到40nm以下沒問題在阿
推 rtwodtwo: 35族的吧 矽的當然沒問題
推 bbdd203: 八吋現在只有量產的ASML S850看來可以做到約.10um (量產
→ bbdd203: 型) 小弟才疏學淺  想知道哪家的litho 八吋可以做到4x nm
→ bbdd203: ....
推 bbdd203: 剛多翻了些paper 除了E-bean//NIL可以做到4x nm 靠正常
→ bbdd203: 的litho 真的就只能到9x nm啊   小弟太過認真?
推 pooboy01: 穩懋要變霸主了嗎