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※ 引述《uranuswind (水瓶之風)》之銘言: : 你待的imp怎麼跟我待的不一樣?小弟之前在Varian摸imp到去年為止大概有8年經驗,從 : 沒聽過imp爽的。如果只是純pm,而且是順利的情況下,大概才會像你說的,這是理想情 : 況喔,很多時候你光是一個rs測不過,你就知道了......imp在真空設備裡面算是難的, : 而且危險度算高的,每個做imp的都覺得很賽....... RS測不過XD 剛好Varian機台我也略懂一點點 不是先看RS機台有沒有漏點有的話去磨針頭或換針頭嗎? RS機台沒問題的話 先看有沒有豬PE去改到dose trim 水阻值太低去換離子交換樹脂 在不行換A6 A8 A9板 確認wafer cooling有沒有問題 以上這些不用動真空 再來就是要動真空測漏 看到source glitch去換source RS一直往上跑換profiler slit v-curve確認x-tilt,y-tilt 差不多這幾招了啦 你摸Varian有8年請你摸著良心說看看這些很難? -- ﹦≡◢ 你媽知道 ◤◢▆◣█ ▅▃ 你在這裡看廢文嗎? ㄑ皿 ◤ ◢█ \ ∕◢██ φ ─ ▃▅███ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 123.205.189.124 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1468325506.A.D0D.html
leigo: 來炫技的? 07/12 20:33
deltarobot: 喔 07/12 20:45
todd7622: 有宅有推 07/12 20:46
zebracoco: 什麼是wafer cooling,你給我哭哭看 07/12 20:52
MeiHS: 快解我水桶 07/12 21:14
power30612: 好啦 好棒棒好不好 07/12 21:58
nemies: 嗯,趕快說很簡單,不然會被說不懂。 07/12 22:08
moonth66: 我做完,每次一 Monitor particle 就Ok ,不會再Remon或R 07/12 22:32
moonth66: un mon 07/12 22:32
moonth66: RS不好一定是真空不佳,至少crying pump 打開至少-6 tor 07/12 22:33
moonth66: r以下 07/12 22:33
moonth66: 不然妳就要On beam開到最大,讓它水氣減少,真空變佳 07/12 22:34
moonth66: 這樣Rs 與 Particle 都會Ok , 重點是真空度 07/12 22:35
moonth66: 真空不佳,你敢交機,累死輪班,讓它幹醮? 07/12 22:35
moonth66: 難怪抱怨文一堆,基礎工作好,事情就簡單 07/12 22:37
moonth66: 最後,還是珍惜吧!不適合就眸作 07/12 22:38
nemies: crying pump 很會哭嗎 07/12 22:51
moonth66: 還會結冰流水ㄝ 07/12 23:30
joey760928: RS測不過不是通常都Q亂胎chart胎太緊的問題嗎? 07/12 23:37
jerome20106: 直接叩阿國不久好了 07/12 23:57
breakofking: 這才是科技業版啊 High/Medium current/AIBT ipulsar 07/13 00:20
breakofking: 通通拿出來研究討論 ^_^ 07/13 00:20
TOUCHLOVER: ....crying pump 是啥= = 07/13 00:45
benden: Tech 版回來了! 07/13 01:06
tm005002: cryo.............這ME 已哭 07/13 23:42