有關CMP的機台~

[KAEDA (零秒出手)]

請問為何CMP的機台都在Fab角落或是邊邊角角的地方?

有些Fab甚至連CMP的區域都有獨立隔間,

幾乎沒見過像是T/F,Etch那種散落在Fab各區的~


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 203.66.222.12
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→ plocer: 不懂問這個要幹嘛??? 羨慕CMP?
→ plocer: 認真回答你...CMP因為機台需要供應Slurry!
→ plocer: 總不能機台散落FAB各個區域然後要廠務拉管拉的到處都是..
→ jack21205: 認真回你，太髒
→ jack21205: Residue embedded scratch 全都HL CMP就對了
→ javis3021: 粉塵重啊，有無塵跟沒無塵一樣
→ prsb: 想一下CMP的用途，還有查slurry成分，應該就有底了
→ sages: 不要害廠務啦  管跑來跑去的很麻煩唉
推 agod2005: 認真回你太髒，湯湯水水怎麼能和真空器材放一起
推 deltarobot: Emb先嗨賴TF吧
推 ctainan: Ebara 宣稱 dry-in - dry-out, 真的這麼神嗎?
→ GUNDAM: 很早前兩大CMP商的機台就dry in dry out
推 angerenergy: 就算沒有完完全全dry out 那也是鎖在foup 裡啊   Eb
→ angerenergy: ara算不錯了啦
推 bbbcccddd2: 豆豆磨來磨去……讓我想起這首廣告歌
推 FK6819: 因為CMP髒，對就是那種髒！