作者rolems (rolems)
看板Tech_Job
標題[請益] Overlay control 書籍
時間Sun Sep 2 01:00:26 2018
各位好~
小弟有幸錄取國內公司黃光製程RD
但是該公司學習資源不多，加上大家都很忙碌
所以想說自學比較好
想特別針對Overlay control的領域
包含ASML LIS, W3F3 model 數學模型
Aberration 對 Overlay影響
目前我只找到這本書:
Principles of Lithography, Third Edition
不知道大家有沒有推薦的書籍~
英文書籍佳
謝謝大家~
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推 Marcus: Burn寫的書 09/02 04:57
推 fleetwood: 去amazon 找 Harry Levenson的書先了解基礎 09/02 05:24
→ fleetwood: 再來跟asml application要lens aberration AP KT 09/02 05:25
推 giggs11s: はじめての半導体リソグラフィ技術 09/02 13:29
→ giggs11s: 會日文的話，這本很推，岡崎信次寫的書，amazon有賣 09/02 13:29
推 autoppp: 推g大說的 09/02 17:23