Re: [新聞] 供應商出包 損台積逾萬片晶圓

[sendtony6 (TY)]

: 她強調，會要求供應商賠償，否則將提告索賠，但不透露供應商公司名稱與化學品名；
供
: 應鏈傳出確定是美商，另傳是供應光阻液或研磨液。
: 備註 : DOW ?

小弟不專業的分析一下

黃光也就兩種原物料，光阻跟顯影液

如果是光阻過期，這個不太可能驗不出來，因為在COA上有一欄是驗CD的

光阻過期或氧化會導致CD異常

再怎麼樣in line也會看到CD ooc或 oos

另一個可能是顯不乾淨，但這種顯影defect說KLA驗不出來 就很奇怪了

sp機台都號稱可以驗到2奈米的pa

而且4大製程裡面就黃光的in line inspection tool最多


如果是CMP slurry的過期，不負責的推測可能會有sio2粒徑不一致導致晶圓刮傷

這個說KLA掃不到，也很奇怪

原物料出包一般都是全面性的，不太可能跑個幾萬片才發現

除非。。。事情不單純


以上是不專業之不負責推論


有沒有巷子內的要出來爆掛一下???

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→ tabrisPTT: 內部問題一定更大，最好是上機前測試測不出來
推 yai5217: 換供應商沒先試run產品嗎 怎麼可能
推 EeePC901: 李組長 眉頭一皺0.0
推 snoopy790428: 蝕刻幾萬片也都沒狀況 KLA也沒驗到什麼真不科學
→ p20162: 我也蠻好奇的 這麼貴的東西光是能做到後面才發現就很誇張
→ p20162: 了 還能做這麼多片
→ tabrisPTT: 說白了就是螺絲鬆了
→ rockonpizza3: Y分不清L跟E,一直殺錯~
推 marco79811: 有時候有些電性的東西異常defect也抓不到呀
推 poba8506: 話說KLA是不是又要推新機了，每次都來這招
→ litcurler: 先猜供應商之間的角力