Re: [新聞] 供應商出包 損台積逾萬片晶圓

[negohsu (專打不專業環團)]

看新聞說是光阻有問題
一般而言，如果是光阻的問題，會有可能反應在1.CD 2.defect上。

正常來說，若是critical layers，些微的CD變化都會被逮到，因此我認為是critical la
yers 的機率並不高。

再來是non-critical layers
這些多半對CD不敏感，甚至幾個nm到10幾nm的偏差，都是屬於正常範圍。這種清況下，就
算CD飄一點，可能都還在control limit 內，不一定會low yield。

最有可能的是scum，也就說曝光顯影後，還有殘渣。如果是光阻厚度變薄，或是peeling
，defect scan/review就會逮到。因此，推測scum的機率大。
若是ETCH layers，scum可能會有defect scan看不的的bridge (被structure)擋住，掃不
到。
如果是IMP layer，打進去的離子濃就變低，電性上就可能是low yield。

如果真的是光阻出問題，我猜問題大概是這樣。

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 27.247.194.206
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1548818273.A.9AF.html
※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/30/2019 11:18:20
推 colon2: scum 在photo後的KLA應該也逮的到
這個很難說
→ fongn: 也許最後會發現 是因為PHOTO 最好推責任
推 Endure: 您講的太專業，對蝕刻基礎沒概念的人我猜會看不懂，能加入
→ Endure: 一起討論的人就更少了。
我沒辦法講的再簡單了，只能這樣。
→ ssmmss: 出貨才發現，應該是信賴性指標才測出peeling or crack
→ h7705060: 有些製程imp 包imp 的誤差空間就少 搭配 PR scum該包的
→ h7705060: 沒包到真的會gg
推 sqt: 若scum會扯到gg自己製程問題.推給原物料是高招
確實可能是原物料品質差異造成的。
→ sqt: 調查異常的潛規則就是找/推別人送死
通常都是推一隻羊出來抗。
等真相查明的時候，羊都快變驢了。
→ peter0928: Imp layer 黃光後比較沒有defect站點～發現的時候通常
→ peter0928: 都imp完了
IMP layer通常都是打完接strip，然後就下一家了。
推 clouder0628: 如果是PR Scum應該要被KLA掃到才對，這種AEI應該都要
→ clouder0628: 抓到，合理懷疑應該是defect impact，當下沒擋下來，
→ clouder0628: 後面就直接大量過貨了
這個不能說不可能，要看看有沒有人夢到了。
※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/30/2019 13:35:12
推 meRscliche: 推
推 rexptt: 推 跟我想的一樣 被你先說惹
→ magamanzero: 這要夢到還是等風頭過去比較好
推 dreamquest: 還滿會猜的 但應該不是這麼低級的錯誤
一切只是猜測，連是否是光阻出問題都不確定。
→ wrt: 老實說沒人在乎這些
推 megamega: 這樣機台要再清洗過才能用嗎？
除非是光阻受到金屬污染，不然可進光阻的機台，就不會有光阻污染。
推 st0809466: PR scum 斷線QQ
推 nanht: 你黃光的齁  XD
不是XD
這種事猜錯很正常
推 amethystboy: 謝謝分享
※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/31/2019 07:34:15
推 horngx: 課長是你
推 chaver: 這種事夢到會有法律問題嗎？