推 qwqmmmm: 這能推 09/21 19:52
推 a2768387: 專業推 09/21 20:09
推 oliver902: PLAD 真的屎 當初光是particle 的問題就快爆炸，但不管 09/21 20:15
→ oliver902: 是Trident 或其他機型PM 的時候真的都很臭… 09/21 20:15
推 lumi95232321: 專業推！ 09/21 20:21
推 moonth66: IMP 最常發生 Source head 短路，有時用塑槌敲敲又不會 09/21 20:23
→ moonth66: 短路，不必再更換S/H 抽真空，因開關turbo /Cory pump 09/21 20:23
→ moonth66: 會有水氣，需要 Outgassing 許久時間，導致不易tune be 09/21 20:23
→ moonth66: am，也無法達到所要的 Beam current 09/21 20:23
推 moonth66: 之後 Imp 機台有發展出一套 Auto tune beam（snapshot） 09/21 20:30
→ moonth66: 的功能，但可能效果不佳，還是需要人為介入；以前是沒 09/21 20:30
→ moonth66: 有 tune beam OP，因常常好幾台同時 Alarm，工程師忙於T 09/21 20:30
→ moonth66: une beam，導致影響產能，最後每班都有 調機OP 09/21 20:30
推 moonth66: 再者更換 As/BF/Ge鋼品時，加裝 gasket時，怕的要死，吸 09/21 20:36
→ moonth66: 一口GG或全場疏散，然而低壓鋼瓶是安全，但是就是會有 09/21 20:36
→ moonth66: 心理壓力 09/21 20:36
推 moonth66: 再者更換鋼瓶需要通知ERC並穿戴SCBA，並通知隔離 09/21 20:40
推 HockeyOTL: 有看沒有懂（誤，但覺得專業給推！ 09/21 21:15
推 sendtony6: 設備弟兄推一個 09/21 22:13
→ KurakiMaki: 啥是光路？ 09/21 22:20
推 moonth66: 10年前High current 與 Medium Current 為 Varian 所製 09/21 22:27
→ moonth66: 造開發，但是後期被Apply所併購！其中顧 High Current 09/21 22:27
→ moonth66: （High Dose)最難照顧，最可能植入過多Dose 量，無法再 09/21 22:27
→ moonth66: 補，因而整個Chamber 可能一批都報廢，另外HC 常開Chamb 09/21 22:27
→ moonth66: er PM （因為高Dose量）因此 Particle 常Out SPC；High 09/21 22:27
→ moonth66: Energy 構造更為複雜，尤其Robert 傳送與牛奶桶真空洩 09/21 22:27
→ moonth66: 漏，可能會當機ㄧ整天 09/21 22:27
推 qwqmmmm: 這是 moonth66 ??? 09/21 22:36
推 moonth66: 但是如果離開IMP，就幾乎什麼都不是，因為外界可用性太 09/21 22:38
→ moonth66: 小 09/21 22:38
推 moonth66: 離開GG，人生GG！ 09/21 22:40
推 lponnn: 我還以為plad比較小台應該比較好顧 09/21 22:59
推 uranuswind: Imp 同學會! 09/21 23:08
推 Alderamin: Imp我不懂 怎整串推文我都看得懂！ 09/21 23:33
推 jason316: 還有一家imp 設備AIBT某大廠也很愛用 09/22 00:03
推 barry610171: 原po之前該不會待過北部某記憶體廠吧 09/22 00:32
推 as111531: 在etch面前都是____ 09/22 00:33
推 jerome20106: 知道 亞舍立的purionH應該待過南亞 09/22 01:11
推 macao930605: 現在還有sen .. 09/22 08:52
推 clairephy: axcelis purion H 是high current..他們現在一直推這 09/22 11:11
→ clairephy: 機型..不用待過南亞科也知道的.. 09/22 11:11
推 TOUCHLOVER: 現在大魔王是低溫機台吧，particle搞死你 09/22 12:44
→ benden: 推 09/22 15:25