Re: [請益] 台積離子佈植設備

[moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)]

        IMP 分為 Wheel ChamDber與Single Camber因為Wheel Chamber 的報廢批太大一
次13Pcs，所以GG後期皆改良為Single。

          其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那會常PM後outgassing
 到往生，其實有解決方法，只要把粉狀藥劑與Source Head放在最後裝上，且Source Hea
d/ Liner需昨天就已置於烤箱中，可減少outgassing的時間，再者建置高真空時，前後多
做幾次N2 purge，可減少異味也可快速建置真空，其實最怕做到此類型機台，有時候 Exh
aust沒做好，異味外洩有可能全場疏散。

        另一項最為頭痛的為Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解決
方法，就
是將 Filament Cathode 與 Liner 間 改良Liner為倒梯形，一方面不會導致Plasma外逸
，另一方面可以增加Filament Cathode 與 Liner 間距，減少Short的機會延長PM時間。

       Source Head也常常建置真空後，S/H後端外管漏水，解決方法為建置OFF Line 測
漏水。

       S/H O-ring 對建置高中空也其為重要，最好OFF Line就檢查，當建置粗真空時(
即Turbo
Pump 打開) 一定要用N2測漏儀器測漏，否則建置不起來高真空，或是導致 Cryo Pump 回
溫這可能要到隔天去了。

         因為IMP製程適用於半導體與Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy與Dose相
對單純固定，不像半導體有幾百隻IMP Recipe常常需要切換，導致常常需要PM。

          其IMP 所學範圍極窄，只是用半導體業，GG 轉職也只能去 Vendor作 trouble
shooting或幫忙原廠更新零件配置的功能，離開GG，人生GG，忠言又逆耳。

※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之銘言：
: 人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp
: 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp
: 台灣的imp機台供應商大概有三家  AMAT Axcelis SHI
: 小弟只顧過兩個A社的
: 所以聊聊這兩家的機台
: 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp
: 個人還蠻認同的
: 沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的
: 不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同
: 畢竟imp內部沒有光路  隨便一台有光路的機台難度都屌打imp
: 而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理
: 最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了
: 另外IMP個人認為算是蠻危險的機台
: 不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As)
: 還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙
: 而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸
: 危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (?
: 後面聊聊機台
: AMAT現在主力的機台是trident 900xp
: 這兩種beamline型機台  只要平常parts的品質夠好
: 顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD)
: 另外還有一種叫PLAD  顧到這種機台的很屎
: 不光是機台很屎  聞起來也很屎
: 不過這機台就真的比較難  應該很少會給新人顧
: 但是PM的時候就會很想死了  因為真的很臭
: axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH
: a社的機台就很難顧
: 因為AMAT的機台程式整合得很好  照著SOP通常都不會有甚麼問題
: a社的就很多毛  傳片也是特別的disk式
: 是以前八吋的霸者  現在就被AMAT打趴
: 至於以前上班的生活
: 大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的
: 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架
: tunebeam也很吃個人技術跟經驗
: 要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了
: 心得大概就是這些
: 雖然我最後還是離職了
: 不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是)
: 或許imp真的就是這麼好顧也說不定

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.26.97.103 (臺灣)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1569118235.A.4AF.html
推 HowBa: 這系列文真不錯 不知道未來有沒有黃光、蝕刻等的機台分享
噓 deltarobot: 排版
※ 編輯: moonth66 (223.26.96.185 臺灣), 09/22/2019 10:35:53
※ 編輯: moonth66 (223.26.96.185 臺灣), 09/22/2019 10:37:29
推 Jolube: 好奇有哪個顧機台所學範圍不窄
→ loadingN: 其他產業的know how 你下班一樣用不到
噓 motsu9876: 晶晶體
推 water5251: 好文必須推啊！！！
推 kai800905: 專業推 不過沒做過imp應該看不太懂
推 moonchris: 離開了 感恩但慶幸
推 Xintec: 推
推 gucciisgod: 專業本來就是窄門呀，時間有限不可能樣樣精
推 snoopy790428: 前蝕刻設備表示好像懂又好像不懂
→ KurakiMaki: 沒做過IPM也看得懂啊...真空有beam的東西不都大同小異
→ KurakiMaki: 如下面那篇說的，測漏是He不是N2...
推 KurakiMaki: 以後出去可以去顧炸雞排設備啊，油溫曲線控制
→ KurakiMaki: 對各類炸物的影響，多久要PM一次濾網，換油跟filter
→ KurakiMaki: 雞排麵漿的塗布(Coating)，炸成金黃色(Development)
→ KurakiMaki: 撒胡椒粉(Pepper Implantation)
→ KurakiMaki: 目視檢查(Visual inspection)，裝袋封裝(Packaging)
推 rosty: 推....這系列文應該要推廣才是
推 sunshinelee: 有點想問這版的，有看過醫生骨科轉泌尿科，皮膚科轉
→ sunshinelee: 眼科嗎？但從榮總轉到長庚，高醫轉到地區醫院很正常
→ sunshinelee: 。 同理IMP 轉ETC 或轉DIF也是接近不可能，但是你高
→ sunshinelee: 興可以從GG轉去UMC 沒人會攔你
→ sunshinelee: 但假如是小七店員，你要轉百貨專櫃，轉保全，轉保險
→ sunshinelee: 業務，轉餐飲業，我相信更可以成功轉職～～～
推 Incentive: 推大大分享
推 benden: 推
推 Lindeman5566: 這種文用晶晶體才好讀好嗎　　噓的到底在想啥
推 MINGSING: 最後一段是重點啊....
推 mengmengcats: 噓晶晶體的有沒有在科技業上班啊？
→ AnXD: 加入台積，正是時機
推 h321123aa: 噓晶晶體的是沒在fab待過是不是…
推 oliver902: 我也都看得懂 囧 當初要PM 前把要換的SH 放在烤箱真的
→ oliver902: 有差，但還不像老鳥一樣可以半夜短路自己PM ，要換SH
→ oliver902: 拆裝真的很麻煩…
推 Gaujing: P到最後完全靠運氣 甚麼鳥狀況都有可能
→ Gaujing: Filament斷掉 用久密封差抓不到漏點 還有Cathode跑掉的
→ Gaujing: PFG桐柱燒掉 換parts沒裝好真空不足
→ moonth66: 曾半夜自己完成quaternary PM，因為隔天剛好要P，只因
→ moonth66: 為時間點尷尬，剛好凌晨1點 S/H 斷掉
推 yikkung: 噓晶晶體的在科技業工作嗎哈哈 同事講話都是這樣的
→ Gaujing: 一個人喔...這麼硬XD
→ moonth66: 不曉得有沒有人在淒涼的寒冬晚上，外面飄著毛毛細雨，獨
→ moonth66: 自推著推車經過長廊去倉庫領料，回到機台旁，自己P年保
→ moonth66: ，慢慢度過這個孤寂的寒夜！
推 oliver902: 年保也太硬…該不會連石墨都要自己換吧？！
→ moonth66: 慢慢換，反正有9小時，至少不用出來交接晨會被狗幹！
推 Gaujing: 都穿無塵服應該感受不到XD
推 sky27: 專業文 沒10年寫不出這些心得