Re: [請益] 台積離子佈植設備

[livefishfish ((*〝︵〞*))]

補充一下幾點

※ 引述《moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)》之銘言：
:         IMP 分為 Wheel ChamDber與Single Camber因為Wheel Chamber 的報廢批太大一
: 次13Pcs，所以GG後期皆改良為Single。
:           其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那會常PM後outgassing
:  到往生，其實有解決方法，只要把粉狀藥劑與Source Head放在最後裝上，且Source Hea
: d/ Liner需昨天就已置於烤箱中，可減少outgassing的時間，再者建置高真空時，前後多
: 做幾次N2 purge，可減少異味也可快速建置真空，其實最怕做到此類型機台，有時候 Exh
: aust沒做好，異味外洩有可能全場疏散。
solid source有一種更可怕的東西叫CBH的 Source Head不但跟一般的還不一樣,還兩天就
要換一次真的會搞死人

:         另一項最為頭痛的為Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解決
: 方法，就
: 是將 Filament Cathode 與 Liner 間 改良Liner為倒梯形，一方面不會導致Plasma外逸
: ，另一方面可以增加Filament Cathode 與 Liner 間距，減少Short的機會延長PM時間。
:        Source Head也常常建置真空後，S/H後端外管漏水，解決方法為建置OFF Line 測
: 漏水。

Varian較舊的機型HCS D2或是現在的Trident EPM在爛的的時候,會glitch到你懷疑人生

:        S/H O-ring 對建置高中空也其為重要，最好OFF Line就檢查，當建置粗真空時(
: 即Turbo
: Pump 打開) 一定要用N2測漏儀器測漏，否則建置不起來高真空，或是導致 Cryo Pump 回
: 溫這可能要到隔天去了。

測漏不是N2啦 是He

S/H O-ring其實還好 我絕對不會說很多人換Source Head沒在測漏的
S/H 除非大漏不然一般來說不太會影響IG2 IG3的值
真的需要測漏的是Dose Cup 有漏就真的會影響到Dose量了

:          因為IMP製程適用於半導體與Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy與Dose相
: 對單純固定，不像半導體有幾百隻IMP Recipe常常需要切換，導致常常需要PM。
:           其IMP 所學範圍極窄，只是用半導體業，GG 轉職也只能去 Vendor作 trouble
: shooting或幫忙原廠更新零件配置的功能，離開GG，人生GG，忠言又逆耳。
: ※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之銘言：
: : 人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp
: : 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp
: : 台灣的imp機台供應商大概有三家  AMAT Axcelis SHI
: : 小弟只顧過兩個A社的
: : 所以聊聊這兩家的機台
: : 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp
: : 個人還蠻認同的
: : 沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的
: : 不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同
: : 畢竟imp內部沒有光路  隨便一台有光路的機台難度都屌打imp
: : 而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理
: : 最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了
: : 另外IMP個人認為算是蠻危險的機台
: : 不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As)
: : 還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙
: : 而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸
: : 危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (?
: : 後面聊聊機台
: : AMAT現在主力的機台是trident 900xp
: : 這兩種beamline型機台  只要平常parts的品質夠好
: : 顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD)
: : 另外還有一種叫PLAD  顧到這種機台的很屎
: : 不光是機台很屎  聞起來也很屎
: : 不過這機台就真的比較難  應該很少會給新人顧
: : 但是PM的時候就會很想死了  因為真的很臭
: : axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH
: : a社的機台就很難顧
: : 因為AMAT的機台程式整合得很好  照著SOP通常都不會有甚麼問題
: : a社的就很多毛  傳片也是特別的disk式
: : 是以前八吋的霸者  現在就被AMAT打趴
: : 至於以前上班的生活
: : 大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的
: : 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架
: : tunebeam也很吃個人技術跟經驗
: : 要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了
: : 心得大概就是這些
: : 雖然我最後還是離職了
: : 不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是)
: : 或許imp真的就是這麼好顧也說不定

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※ 編輯: livefishfish (123.205.189.124 臺灣), 09/22/2019 12:10:58
推 Incentive: 推分享
推 benden: 推
推 moonth66: 有自信相信自己PM技術，大可不必推氦氣測漏儀，啾啾叫，
→ moonth66: 老鳥機乎不測，看到老鳥推來了，表示大事不妙！
推 moonth66: 閃遠點，免得基於袍澤之情，耽誤自己下班時間
推 ideo: 不怕一萬只怕萬一，半導體最怕這種有自信的該測的不測，在fa
→ ideo: b待過的都知道我在說什麼，不要不信邪，夜路走多還是會碰鬼
推 moonth66: 的確！頂多被開會（袍澤）狗幹而已，下次換別人害你
推 moonth66: 想想被狗幹，一年可是有200萬可領，從畢業做到65歲台積
→ moonth66: 電退休，總所得有一億元，也是人生得意組!
推 TOUCHLOVER: 說到gas alarm哪家比得上Varian的High Energy....
推 moonth66: ByPass
推 tequilaboom: IMP的確比管子還累
推 azureroki: 看完這些我決定還是繼續待在後段了
推 water5251: 跪求解D2  glitch!!!!!!!! 有前輩能分享經驗嗎！
推 TOUCHLOVER: 不停的換  總會換到好的D2  XD