推 smallstitch: 不告訴膩雷。 12/02 20:04
→ smallstitch: 雷 12/02 20:05
噓 ming60406: 高中物理 12/02 20:25
這位你在晶圓廠待過嗎?我相信絕對不是高中物理
→ Cramael: 想知道這的通常是對岸人士，不過黃光這麼多道，同node就 12/02 20:27
很高興你有高度警戒心，但我真的台灣人XD
我也堅決反共反獨裁，支持改國名為台灣
→ Cramael: 有不同光阻了，你還是直接問用每道用哪種光阻比較快 12/02 20:27
我只是看到stock版文章，然後自己想了一下發現相關知識已經忘光光
google只能找到會的(基礎的)，所以跑來問一下
通過你的回答我知道了，主要是看做哪一道對吧
所以跟機台無關嗎?
→ a810086: 光阻有很多種，從前段到封裝各個製程都有不一樣的，光是 12/02 20:36
→ a810086: 封裝就有好幾種 12/02 20:36
→ a810086: 線路越細要求解析度肯定更高，其他請專業的前輩回答 12/02 20:37
噓 hoyo992: 你真的人認為在這能問到答案嗎 12/02 20:40
我認為能啊，不然幹嘛這裡問
或者可以請你介紹一個能問到答案的其他地方嗎?
而且我的重點只想知道跟機台有沒有關係而已XD
推 Cramael: 以前是小整合的認知，光源、解析度、要檔蝕刻的量、正負 12/02 20:41
→ Cramael: 光阻都會用不同光阻，這開發的時後都會評估 12/02 20:41
→ Auslayer: 底片有分感光速度，7nm跟14nm製程光阻就算成分種類一樣 12/02 20:42
→ Auslayer: ，配比也會有差異 12/02 20:42
推 b777300: 當然有差異，跟車零件的精細度是一樣的，只是一個是車刀 12/02 20:51
→ b777300: 硬度與精細度，一個是解析度與照射時間 12/02 20:51
推 orangelin76: 不同製程要求的解析不同，感光成分一定也會有所調整 12/02 20:53
→ orangelin76: ，即便可能可以用，材料商肯定會跟你講成分不一樣， 12/02 20:53
→ orangelin76: 要加價賣你，除非製程本身很強，可以自己去抓參數 12/02 20:53
感謝樓上各位!
※ 編輯: newper (123.241.131.60 臺灣), 12/02/2019 20:55:40
推 onlydo: EUV光阻跟一般光阻不一樣 12/02 21:36
推 maikxz: 直覺上不同光源會主要影響選用的成分，不同波長影響吸收 12/02 22:17
噓 rainlistener: 介於一樣跟不一樣之間 12/02 22:18
推 hiyakaikai: PIP好嗎 這邊不可能問的到 12/02 22:20
推 a810086: 其實我更想問的是製程極限會不會不是發生在機台而是因為 12/02 22:33
→ a810086: 光阻做不到，導致後續3nm1nm碰壁 12/02 22:33
推 qwe172839: 全台灣搞不好還沒幾個人摸過EUV 怎麼可能問得到 12/02 23:02
推 CIIIO: 不同波長的光所需要的光酸不一樣 12/02 23:05
噓 ian41360: 問這幹嘛? 要不要 dosage focus 一起講? 12/02 23:10
推 j0958322080: 偷偷告訴你是用OMOG，剩下的我不能再說了 12/02 23:18
噓 david83126: 問這幹嘛 12/02 23:39
噓 s869225: 問這問題真的很瞎 12/02 23:44
推 switch: 非EUV的7nm 跟 14nm光源都是193 immersion 差在多重曝光， 12/02 23:49
→ switch: 光阻應該一樣或差不多，EUV 7nm 光源波長差那麼多，光阻 12/02 23:49
→ switch: 當然不一樣。 12/02 23:49
噓 si5111: PIP 誰要跟你講 12/02 23:56
→ DazaiOsamu: 作業自己做== 12/03 00:01
推 jwptt0120: 碩班做25um跟100um都用同一種PR 12/03 00:16
→ jwptt0120: 給你參考 12/03 00:16
噓 KaYan: PIP 12/03 00:42
噓 ANava: 學生作業自己做啦 12/03 00:43
推 gj942l41l4: 應該是12樓講得那樣 12/03 01:18
→ gj942l41l4: 會因為感光速度有成份微調 12/03 01:18
→ gj942l41l4: 我碩班做25um和100um用不同PR耶，不過是厚度不是線寬 12/03 01:19
噓 outzumin: 看你可憐 光阻正負會影響最小線寬 黏稠度也會 12/03 04:08
→ outzumin: 剩下自己做功課 12/03 04:09
→ autoppp: 其實一樣沒問題 12/03 05:46
推 ARPG: 你每天站在GG大門口，開一看就知道了 12/03 07:15
推 motan: 奈米越小臉越黃，選我正解 12/03 09:08
噓 Satansblessi: PIP... 12/03 09:16
→ Satansblessi: 而且同平台不同設備也可能有不同光阻搭配 12/03 09:16
→ Satansblessi: 當然你要知道rough的答案就是不同 12/03 09:17
噓 snoopy790428: 日光燈會越來越黃 12/03 09:49
→ abyssa1: 應該可以用一樣光阻的去做 只是良率效能會很差 所以肯定 12/03 10:51
→ abyssa1: 會微調或大改配方 兩個製程客戶能接受的價格也不同 最適 12/03 10:51
→ abyssa1: 合的配方肯定不會一樣 12/03 10:51
噓 bnd0327: 不同 layer 光阻就分好多種了，你問有沒有一樣的比較快 12/03 11:38
→ YTVW: double patterning 12/03 11:39
推 iFann: 光阻..問光阻商就好啦...光阻製程定下來後夭壽難換的 12/03 11:42
→ faniour: 線寬、厚度、正負型、光源、機台、塗布都有影響 12/03 13:31
→ faniour: 光阻商願意調整多少，交期多急.... 12/03 13:33
→ faniour: 連帶影響要大改還是盡可能調整成分比例去解決 12/03 13:35
推 sky020488999: 當然有差 不然幹嘛花好幾十億買泡水機 12/03 15:18
推 catch27: PIP 12/03 18:38