推 michaelgodtw: 路人學經驗 12/03 14:45
→ y800122155: 樓下歐底特 這篇幾顆星? 12/03 15:12
推 kk123: ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ ☆12/03 16:13
推 sdbb: 先推再看,謝謝12/03 16:15
推 louis021789: 希望這種認真文越來越多 12/03 17:08
噓 JJiaK: 輕輕鬆鬆問出技術細節 保密都不用了12/03 17:26
這只是基本知識,連機密的邊都沾不上。
推 jeff40108: 估狗就有的要保什麼密XD12/03 17:33
推 thumba87295: 某樓以為這樣就機密,你當tune參數的都87? 12/03 17:41
推 ssmmll: 保密 XD12/03 17:42
推 motan: 感謝科普,文組表示知道了。12/03 17:51
→ luche: 直接回我 5434現在是便宜還是貴?12/03 17:54
我記得我不是回在股版啊。
※ 編輯: negohsu (110.28.34.48 臺灣), 12/03/2019 18:05:45
→ j0958322080: 文組才覺得這是細節12/03 18:09
推 a810086: 認真文推一個,黃光製程基礎入門課12/03 18:11
推 djboy: 推12/03 18:21
→ wzmildf: 這東西隨便買一本半導體製程課本應該都有吧..12/03 18:52
→ feel159357: 哈哈六樓是反串吧12/03 18:54
推 nastie: 推 用心回覆12/03 18:54
推 darkangel119: 笑死 這是機密XD 要不要先關三天 12/03 19:01
推 double21: 對我們門外漢科普一下還是很有用的! 12/03 19:07
→ double21: 感謝! 12/03 19:07
推 maikxz: 笑死這細節機密XDDDDDDDDDDDD 12/03 19:10
推 HeartBreaker: 台灣似乎沒有公司能做出半導體用的光阻 12/03 19:38
推 newper: 感謝分享,這篇把我的記憶都找回來了XD,我是開篇原PO 12/03 19:53
推 newper: 因為成功轉Q,我那本半導體製程早就丟了(不知道華通書局還 12/03 19:57
→ newper: 在不在)12/03 19:57
推 a810086: 我記得台灣還是有可以自製的半導體光阻,但是良率不好12/03 20:06
→ faniour: 依進步的速度,生產對應的光阻,資本支出要很大12/03 20:18
→ faniour: 機台不更新很難做對應的產品 12/03 20:18
→ faniour: 另外如果沒有一間公司願意陪練,很難做出成熟產品 12/03 20:19
→ faniour: 再加上信心度跟品牌形象問題,很難有後面的競爭者12/03 20:20
推 superex: 推 12/03 20:30
噓 dxdy: 誰給你基本知識 這根本是常識12/03 20:33
閣下學識淵博,能把這些常人餵狗都不見得能理解的事當常識。
推 Qcloud: 推12/03 20:34
推 ddiuyxx: 認真文12/03 20:56
推 henryyeh0731: 之前達興好像有在玩光阻,不曉得成果如何就是了12/03 21:01
推 lf2andnet: 用心給推12/03 21:01
推 Satansblessi: 達興的不錯啊 但僅限於面板業,半導體光阻還是AZ12/03 21:57
→ Satansblessi: 和日商為主12/03 21:57
推 loveFigo: 推科普12/03 22:05
推 kurll: 真正的機密是參數設定跟process內容好嗎 某樓? 12/03 22:13
推 qwe172839: 感謝休息時間不多的黃光弟兄還出一篇好文 12/03 22:25
不是黃光弟兄,只是個求知欲比較高的打雜工。
推 loveFigo: 光阻(PR) 基本上就高分子跟紫外光反應,被UV能量打斷鍵 12/03 22:35
→ loveFigo: 結的部份顯影就被洗掉 12/03 22:35
奇實還有一種光阻叫負光阻,顯影過的地方是留著的。
→ loveFigo: 不同波長能量不同,會產生斷鍵反應的鍵結也不同 12/03 22:35
推 jfsu: BL/WL pitch 的1/2 是DRAM, NAND不是用這個算的唷 12/03 22:44
NAND的製程世代是B/LWL的1/2 pitch。NAND是4F^2的Cell size。
推 h321123aa: 這就大方向提一提,機密在哪… 12/03 22:46
推 loveFigo: 其實記憶體跟logic線寬不能直接對應12/03 22:56
→ loveFigo: 搞不好記憶體的19nm design rule 跟logic對應起來接近7n12/03 22:58
→ loveFigo: m.12/03 22:58
→ loveFigo: (純舉例,詳細數字我也不知道 12/03 22:58
這個講起來有點雜
NAND原本的製程世代是BL/WL的1/2pitch。但是在進入1字頭世代,為了搶快開始出現BL是
1X,WL是2X的NAND,這時也宣稱是1字頭世代,等到BL/WL都是1X的時候,就叫1字頭 + 世
代。
邏輯則是FinFET之後,製程世代的數字就越來越迷,I皇一套,T哥一套,星弟也一套。總
的來說是Fin pitch 的1/3約略等同製程世代,但這也只是約略,不是約定俗成的計算法
。
推 angerenergy: 推推 12/03 23:17
推 bopanda: 推12/03 23:40
推 chariot825: 科普的超好 12/04 00:14
推 Mei2521: 機密啥 我上課做的報告都比這詳細12/04 02:15
科普是要一般人都看的懂
報告是要給老師看的,寫科普報告上去肯定是低分那群。
推 CarlOrz: 推12/04 02:32
推 tuyere1127: 趕緊推一下免得被發現看不懂12/04 04:34
推 homer00: 推一下12/04 06:32
※ 編輯: negohsu (110.28.34.48 臺灣), 12/04/2019 07:47:51
推 mmx9797: 隔行如隔山 這真的算常職了 12/04 07:39
常識是指一般大眾普遍擁有,不需要特別學習的事。
知識是需要經過學習理解的過程而得到的,所以這些應該算基本知識。
※ 編輯: negohsu (110.28.34.48 臺灣), 12/04/2019 07:52:16
推 rosseta0702: 推 12/04 08:10
→ faniour: 光阻有正負型的差別12/04 08:21
→ faniour: 大部分的光阻是光酸或光起始劑去跟成份反應 12/04 08:27
→ faniour: 高分子比較少做為吸光中心,斷裂也是斷側鏈為主 12/04 08:28
對非黃光出身的人而言,這些知識太深。非理工科系甚至可以直接放棄理解。
※ 編輯: negohsu (110.28.34.48 臺灣), 12/04/2019 09:01:54
推 ato99: 那同光源為何也有不同光阻的配置是和後續流程有關嗎? 12/04 09:29
這跟線寬有很大的關係
主要還是光阻的深寬比(AR)
有時光阻厚度需求超過了深寬比的最大值,這時就需要對光阻成份做調整,讓光阻不會因
為過高而倒塌(Collapse)。
另外還有可能就是缺陷的問題(defect)。
通常遇到這類問題,改另一種光源或xxx (可能有點違規
的風險,就請恕我保留)通常會比調整光阻成份容易。畢竟一種新成份光阻的使用與上線
,存在的後續作業太繁瑣。除非另一種光阻已經有在FAB使用,那就只是適用性的問題。
※ 編輯: negohsu (110.28.34.48 臺灣), 12/04/2019 09:42:13
※ 編輯: negohsu (110.28.34.48 臺灣), 12/04/2019 09:44:32
推 Satansblessi: 老師您真佛心,還一個一個回覆,認真給推! 12/04 09:44
推 z790305000: 推一個0.0 12/04 09:56
推 geniusw: 太神啦 12/04 09:59
推 b777300: 陰刻跟陽刻 12/04 11:29
噓 ngxx: 機密 ㄎㄎ 12/04 11:32
推 moonchris: 文組背完抄三次準備面試去 謝謝 12/04 11:58
推 c08371: 你這段能默寫也沒辦法pass大學部蝕刻課 是要去面試掃地工 12/04 12:56
→ c08371: 嗎 12/04 12:56
推 loveFigo: 印象中正型解析度比較好,小線寬幾乎都正型? 12/04 15:14
→ loveFigo: 如果同樣喊7nm, I皇線寬會比較小 12/04 15:15
→ loveFigo: 後來I皇就出來講要比單位面積電晶體密度 12/04 15:16
推 modkk: 這機密啥?機密是如何做到,不是原理 12/04 21:06
推 modkk: 還有AZ已經被併購了,目前唐榮那邊主要是做面板光阻,半導 12/04 21:12
→ modkk: 體沒那麼多 12/04 21:12
推 rabbit2233: 感謝 12/04 22:44
推 yclt: 推推 12/05 00:46
推 ISNAKEI: 負光阻用在面板的彩色濾光片比較多 12/05 10:28
推 koibido: 推 12/05 19:30
推 carterlin: 感謝囉 之前看同機台但轉layer而有speedloss 12/06 08:16
推 frontseat: 一般台灣研發以為原理是機密?原理不是入門的基本能力 12/06 14:06
→ frontseat: 嗎?偏偏一堆台灣研發連基本原理都不太懂 才會東藏西 12/06 14:07
→ frontseat: 藏自以為是機密 哈哈 12/06 14:07