[請益] PVD設備 濺鍍 材質限制

[cocoplum (我愛可可)]

請問 各位先進

我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。

設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。

如將設備把靶材更換、氣氛更換，是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的?

設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。

是否有設備商或是有經驗的相關先進，可以請益。



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噓 pinkowa: 1.問原廠 2.你應該是買了二手機，所以不敢問原廠。
噓 wzmildf: 自己的功課自己做
→ johnyson: 以小弟個人見解，要更改機台run 其他製程，並不是簡單
→ johnyson: 更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單，以PVD來說，能
→ johnyson: 量（generator)、真空度（pump）、靶材純度（target）與
→ johnyson: 氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些
→ johnyson: 細項更改，不是這麼簡單可以全部都考慮到的，半導體設
→ johnyson: 備之所以難就是因為他的複雜度，我們一般設備人員很難
→ johnyson: 有全面的資訊以及料件去改機，所以樓上的才會說找原廠，
→ johnyson: 除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用，如果要省費
→ johnyson: 用起碼也要找second source的廠商去評估吧！
噓 jim543000: 你不會把target裝上去試嗎？
→ jim543000: 會怕還敢買機器自己retrofit
噓 cxzdsa: 真的是該試一下看看效果，品質能接受不就可以了。
噓 Mysex: 自己的專案自己做
噓 tseng413121: 你肯定沒念過研究所
噓 x080944924: 自己不會試試看？
噓 vdfoty: 大一生？
→ avgirl: 484你公司老闆又在異想天開惹? QQ
→ douge: 可以
推 hyenhan: 可以啦
推 hyenhan: 看是反應式濺鍍還是icp的
→ hyenhan: 遲滯曲線抓一下
噓 Ensoul: 花錢請vendor retrofit啊 用嘴巴問機台就自己會改好了嗎
噓 Keelungman: DC? RF?
噓 allen8694: 是在反串？！