[請益] 何謂 MEMS PIQ release

[mark183 (mark)]

請問因為最近要做簡報，看到MEMS PIQ release，一直查不到這到底是什麼意思，我知道DRIE,但MEMS PIQ release不知道是什麼，中英文的全名叫什麼呢？算製程嗎？跟各位前輩請益，謝謝！

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.141.224.156 (臺灣)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1624606206.A.CE8.html
推 XoPXoP      : good
→ YJM1106     : TBH,IDK
→ newfolder   : LMAO
→ wellkom     : RTFD
→ Shellingford: 請拿去餵狗就知道了
→ wellkom     : 已幫你轉寄給HR,他們會編入下一版新人 survival kit
推 jackie0825  : STFU
→ h7705060    : 通常MEMS都有一些空腔結構在製作過程中會用PIQ當作
→ h7705060    : 結構支撐但是你做完了要把PIQ吃掉只保留MEMS結構這
→ h7705060    : 個步驟就叫做PIQ release 通常用wet or dry etch
→ mark183     : 謝謝h7705060大大！